판매용 중고 HMI eScan 315 #9227591

HMI eScan 315 (HMI eScan 315) 는 고급 기술을 갖춘 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 사용자에게 마스크 및 웨이퍼 패턴에 대한 종합적인 시각적/차원 검토를 제공합니다. EScan 315는 프로그래밍 가능한 LED 어레이를 기반으로 자동 정렬 단계, 고정 마스크 단계, 스캔 단계 및 고강도 조명 시스템을 갖추고 있습니다. 이 제품은 다양한 기능을 갖추고 있어 정확한 측정 (measurement) 과 효율적인 결함 검토 (defect review) 를 제공합니다. 자동 정렬 단계는 압전 동작 (piezoelectric motion) 및 이미지 등록 (image registration) 을 사용하여 뷰 분야에서 마스크나 웨이퍼의 중요한 전체 정렬을 달성합니다. 이러한 측정의 정확성은 고해상도 CMOS 이미지 센서로 최대 26 메가 픽셀 (MB) 의 선명한 이미지 데이터를 제공합니다. 고정 마스크 스테이지에는 전용 전동 마스크 변환 장치 (Motorized Mask Translation Unit) 가 장착되어 있어 여러 마스킹 작업을 정확하게 관리할 수 있습니다. 고도로 정확한 자동 이미지 스티칭 (automatic image stitching) 기능을 사용하여 더 높은 수준의 결함에 대한 피쳐 치수와 모양을 빠르게 검사할 수 있습니다. 스캐닝 단계에는 진정한 3 차원 검사 기능을 위해 뛰어난 X-Y 변환 및 가변 속도 회전을 제공하는 고급 스테이지가 장착되어 있습니다. 마스크 또는 웨이퍼 피쳐 치수와 모양을 위해 비교할 수없는 X-Y 및 각도 해상도를위한 정확한 플랫폼을 제공합니다. 고강도 조명기 (Hi-Intensity Illumination Machine) 는 단일 또는 다중 파장의 빛을 발생시켜 광범위한 검사 모드를 허용하도록 설계되었습니다. 최고의 검사 결과를 위해 최적화 된 스펙트럼 전력 밀도로 프로그래밍 가능한 LED 어레이 조명을 제공합니다. HMI eScan 315 (HMI eScan 315) 용 기능 세트는 기본 구조를 파악하고 신속하게 결함 검토를 위해 정확하게 측정 할 수 있도록 설계된 수많은 분석 도구로 더욱 강화되었습니다. 이 도구에는 RARE 이미지 선명화, 거짓 색상 매핑, 대비 개선 및 모서리/선 분석이 포함됩니다. 전반적으로 eScan 315는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 고급 최첨단 도구입니다. 자동화된 정렬, 스캐닝, 조명 및 분석을 위한 고급 (advanced) 기술과 기능을 갖추고 있으며, 사용자에게 매우 정확한 결함 식별 기능을 제공합니다.