판매용 중고 HMI eScan 300 #9200269
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ID: 9200269
E-Beam inspection system
Front end:
Brooks Automation:
Fixload V6, 12" Load port
ABM-407B-1-S-CE-S293 Robot
ESC Controller
Pre aligner
TREK Model P1122 electrostatic voltmeter
Main body
Power rack
VARIAN PTS06001UNIV Dry pump.
HMI eScan 300은 300mm 웨이퍼까지 다양한 크기의 이미지를 측정하는 데 사용되는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 제품은 불투명 마스크 이미지와 투명 마스크 이미지에서 낮은 명암비 (low contrast) 기능을 감지하는 기능과 결합된 뛰어난 명암비 (acuity) 를 제공합니다. 이 시스템은 고급 레이저-광학 장치를 사용하여 50nm에서 0.1mm 사이의 해상도로 고해상도 이미지를 얻습니다. 이 제품은 강력한 컴퓨팅 플랫폼 (computing platform) 과 소프트웨어 (software) 의 지원을 받아 스캔의 데이터를 빠르고 정확하게 처리합니다. EScan 300 은 16 비트 광 이미지 검출기와 개별적으로 구성 가능한 전력 및 신호 강도 설정을 가진 이중 대역 256nm 단파 및 긴 파장 레이저 조명기를 결합합니다. 이렇게 하면 스캔 속도와 정확도가 높아지고, 고품질 이미지를 만들 수 있습니다. 더 작은 결함을 감지하고 신호 대 잡음비를 향상시키는 데 필수적인 9um 레이저 스팟 (laser spot) 크기를 제공합니다. 또한, 조정 가능한 초점 거리 (focal length) 와 확대/축소 (zoom) 기능을 통해 이미지를 네이티브 해상도의 40 배 크기로 구성할 수 있습니다. 이미지를 측정하기 위해 HMI eScan 300 (HMI eScan 300) 은 샘플의 분류 및 검증을 용이하게 하도록 설계된 도구 세트를 사용합니다. 모서리 탐지 (Edge Detection), 필름 두께 측정 (Film Thickness Measurement) 및 결함 탐지 (Defect Detection) 가 포함됩니다. 모서리 검색 (Edge Detection) 도구는 활성 레이어 모서리, 용접 피쳐 경계, 스크래치를 정확하게 식별할 수 있도록 균일하지 않은 영역을 식별합니다. [필름 두께 측정 도구] 는 산 마스크, 도금 레이어 및 금속 레이어의 두께를 측정합니다. 마지막으로 [결함 감지 도구] 를 사용하여 공백, 입자 구성 및 핀을 검색할 수 있습니다. 또한 EScan 300 은 직관적인 사용자 인터페이스를 제공하며, 툴팁, 컬러 코드 마커, 영역 선택 등의 기능을 제공합니다. 이 사용자 인터페이스는 [마스크 관리자] 가 경험한 작업을 단순화하고 개선하는 데 도움이 됩니다. 이 도구에는 최대 4 개의 마스크 및 웨이퍼 이미지를 동시에 검사 할 수있는 산업 등급 환경도 포함됩니다. 이를 통해 업무 흐름과 생산성을 효율적으로 향상시킬 수 있습니다. 마지막으로, HMI eScan 300은 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 혁신적이고 비용 효율적인 도구입니다. 이를 통해 수정된 집적회로 생산과 관련된 정확성을 높이고 비용을 절감하고 진단/품질 보증 (quality assurance) 프로세스를 개선할 수 있습니다. 강력한 하드웨어/소프트웨어 기능을 갖춘 eScan 300 은 반도체 업계의 모든 검사 요구에 적합한 제품입니다.
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