판매용 중고 HITS HXATS-1000 #293670427
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HITS HXATS-1000 Mask & Wafer Inspection Equipment (HITS HXATS-1000 마스크 및 웨이퍼 검사 장비) 는 반도체 마스크 및 웨이퍼의 성능을 신속하게 측정하고 보고하기 위해 설계된 최첨단 자동 광학 검사 시스템입니다. 이 기계는 고해상도 이미징, 정교한 소프트웨어, 고급 비전 유닛 (advanced vision unit) 을 사용하여 웨이퍼/마스크 기판 특성을 종합적으로 검사하고 분석 할 수 있습니다. 검사 도구의 주요 구성 요소에는 웨이퍼 및 마스크 기판의 이미지를 캡처하는 IMM (Image Acquisition Module), 이미지 데이터를 분석할 수있는 PU (Processor Unit) 및 최종 보고서 및 결과를 생성하는 DA (Data Analysis Program) 가 포함됩니다. IMM은 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 기판의 이미지를 초점과 고해상도로 캡처하여 정확한 검사 결과를 제공합니다. 프로세서 단위 (PU) 는 데이터 분석을 수행하고 곡률, 각도 측정, 피쳐 등 기판에 대한 자세한 분석을 제공합니다. 그런 다음 DA (data analysis program) 는 프로세서 장치의 데이터를 해석하고 최종 결과 및 보고서를 생성합니다. HXATS-1000은 매우 정확하고 반복 가능하며 반복 가능 오류는 +/- 2 µm입니다. 정확성을 보장하기 위해 자산은 여러 가지 fail-safe 메커니즘 (예: 자동 보정 기능) 으로 설계되어 정확하고 재현이 가능한 측정을 가능하게 합니다. 또한, 이 모델에는 성능 향상 및 웨이퍼/마스크 기판 (wafer/mask substrate) 에 대한 자세한 분석 기능을 제공하는 내장 기능이 포함되어 있습니다. HITS HXATS-1000은 해상도 1äm, 결함 감지 임계 값 0.25äm2의 인상적인 감지 기능을 제공합니다. 이 장비는 설치 및 작동이 용이하도록 사용자 친화적 인 인터페이스로 설계되었습니다. 또한, 이 시스템은 종합적인 통계 분석 (statistical analysis) 기능을 갖추고 있으며, 이를 통해 테스트 단계에서 통계 보고서를 자동으로 생성하여 추가 분석을 수행할 수 있습니다. 전반적으로 HXATS-1000 Mask & Wafer Inspection Unit은 반도체 마스크 및 웨이퍼를 검사하는 데 적합한 최신, 신뢰할 수있는 자동 광학 검사 기계입니다. HITS HXATS-1000은 고급 비전 툴, 종합적인 분석 기능, 빠른 결과를 바탕으로 고성능, 고품질, 고수율 결과를 위한 효율적인 운영 및 프로세스에 필수적입니다.
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