판매용 중고 HITACHI PD 3000 #293754411

HITACHI PD-3000은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 겹치는 패턴 (중첩 패턴), 얇아짐 (thinning) 또는 과도한 두께 (thickness of line), 미세 거칠기 (micro roughness) 등의 결함을 감지할 목적으로 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. 이 시스템은 장치 제작 (device fabrication) 과 패키지화된 반도체 장치 (packaged semiconductor device) 를 위해 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있는 가변 뷰 (variable field of view) 로 설계되어 가변 크기의 검사 영역을 허용합니다. PD-3000 (PD-3000) 에는 교정 대상을 참조하여 샘플의 실제 색상 이미지에 대한 정밀 광원 조정이 가능한 이미지 캡처 장치 (Image Capture Unit) 가 포함되어 있습니다. 또한 3 단계 광학 기계, 수평 변위 이미지 2 개, 이미지 조건의 자동 계산을위한 알고리즘 기반 이미지 처리 도구가 장착되어 있습니다. 광 자산의 정렬은 최적의 성능을 위해 자동으로 조정됩니다. HITACHI 이미지 처리 (image processing) 모델은 0.01 미크론의 정확도로 마스크 및 웨이퍼에서 기능을 감지할 수 있습니다. 이 장비를 사용하면 이전 기술로 감지할 수 없었던 결함을 감지할 수 있습니다 (영문). 이 시스템은 또한 이미지 밝기 또는 대비 (contrast) 의 변화를 감지하고 자동으로 조정할 수 있습니다. 검사 장치 (Inspection Unit) 는 또한 매우 작은 결함을 감지하기 위해 이미지를 수동으로 해부 할 수 있습니다. 또한 HITACHI PD-3000 은 LED, 카메라 센서, 광원 등 다양한 매개변수를 조정하여 성능을 최적화합니다. 이렇게 하면 이미지 입수의 정확도가 높아지고, 매우 정밀하게 웨이퍼와 마스크를 검사할 수 있습니다. 이 기계는 또한 이미지 획득에 대한 운영자의 개입없이 설계되어, 무인 작동을 허용합니다. 이 도구는 열악한 환경 조건에서도 이미지 입수 (image acquisition) 의 정확성을 보장하기 위해 온도 (temperature) 및 습도 제어 (hidity control) 와 같은 환경 사양으로 설계되었습니다. 또한, 자산에는 데이터 효율적인 관리를 위한 제어 인터페이스 (Control Interface) 가 장착되어 있어 여러 사용자가 동일한 데이터를 액세스할 수 있습니다. 전반적으로, PD-3000 (PD-3000) 은 높은 정확도로 결함을 감지하도록 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 이 장비에는 자동 이미지 처리 시스템 (automated image processing system), 가변 뷰 (variable field of view), 환경 제어 (environmental control) 등의 다양한 기능이 포함되어 있어 장치가 지속적으로 정확한 이미지를 생성하고 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다.