판매용 중고 HITACHI MAX 880 #9244735

ID: 9244735
Wafer inspection system, 6"-8".
HITACHI MAX 880은 반도체 장치 제작 중 패턴 치수 및 레이어 간 정렬을 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 이미징 및 패턴 인식 (pattern recognition) 기술을 사용하여 높은 성능과 정확도를 제공합니다. 이 장치에는 동적 범위 (dynamic range) 와 색상 충실도 (color fidelity) 를 향상시키는 글로벌 셔터 카메라가 장착되어 있습니다. PSHM (Phase Shift Homography Metrology) 을 사용하여 레이저 및 다중 라인 스캔을 사용하는 시스템의 스캔 스루 필드 패턴에 대한 나노미터 수준의 정밀도 및 하위 픽셀 정확도를 달성합니다. 이 기계는 효과적인 조명 (Lighting) 과 명암비 향상 (Contrast Enhancement) 을 활용하여 검사 프로세스를 촉진하고, 비슷한 시스템보다 최대 3 배 빠른 검사를 수행하도록 설계되었습니다. 이 도구에는 결함 검사, 3D 지형 측정, 입자 계산, 다이 투 다이 오버레이, 프로세스 모니터링, 저항력 측정 등 다양한 도구가 있습니다. 이러한 툴을 사용하면 프로세스 흐름의 불일치를 신속하게 파악하고, 한계 (Marginality) 문제를 생성하며, 전기 성능을 평가할 수 있습니다. 이 에셋은 사용이 간편하고 직관적인 GUI (사용자 친화적) 를 통해 사용자가 특정 요구 사항에 맞게 신속하게 모델을 조정할 수 있도록 합니다. 또한 여러 레이어 (layer of inspection) 를 사용하여 여러 패턴을 동시에 검사할 수 있습니다. 또한, 장비는 자동으로 다양한 형식으로 보고서를 저장, 생성하며, 결과를 쉽게 공유, 익스포트, 저장하기 위해 다양한 외부 데이터베이스에 연결할 수 있습니다. 이 시스템은 뛰어난 신뢰성과 반복 성을 위해 설계되었습니다. 이 제품은 안전 (Safety) 및 ISOR 표준을 충족하도록 인증되었으며, 고급 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 지속적으로 모니터링하고 조정하여 오류를 최소화하고 더 많은 결함을 실시간으로 감지합니다. 이 장치에는 이미지 분석, 결함 분류, 색상 이미지 수정, 모서리 감지를 위한 포괄적인 소프트웨어 라이브러리가 포함되어 있습니다. 맥스 880 (MAX 880) 은 강력하고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 머신으로, 고품질의 고품질 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 경제적이고, 사용하기 쉽고, 다양한 툴을 제공하여, 사용자가 결함 및 불일치를 신속하고 정확하게 파악할 수 있도록 지원합니다. 이 도구는 반도체 장치 제작 프로세스에 이상적인 선택입니다.
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