판매용 중고 HITACHI LS 6800 #9401333
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HITACHI LS 6800은 고급 이미징 기능을 갖춘 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다. 고급 3 차원 이미징 기술은 제조 중 웨이퍼, 마스크 및 기타 컴포넌트의 형상을 정확하게 감지하는 데 도움이됩니다. 이 시스템은 최대 0.03 미크론 범위의 고해상도 감지 기능을 제공합니다. 이 장치는 이미징 프로세스에 대한 고급 미러링 (advanced mirroring) 기술을 사용하여 정확성과 반복성을 향상시킵니다. 이 기술을 사용하면 정적 (static) 이미지와 동적 (dynamic) 이미지를 모두 다양한 조명각으로 제공하여 검사 프로세스에 필요한 시간을 줄일 수 있습니다. 또한 미러링 프로세스를 사용하면 이미징 속도를 향상시키고, 이미지 노이즈를 줄이고, 측정 정확도를 높일 수 있습니다. 머신에는 이미징 결과를 검사하는 대형 LCD 디스플레이가 포함되어 있으며, 검사 프로세스를 제어하기 위한 수많은 인터페이스가 있습니다. 이렇게 하면 운영자가 원하는 사양에 맞게 도구를 사용자정의할 수 있습니다. HITACHI LS6800 (HITACHI LS6800) 은 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 표면에서 다양한 결함을 감지할 수 있으며, 사람의 눈으로는 볼 수 없는 컴포넌트 내부에서 감지할 수 있습니다. 오염 물질, 긁힘, 주름, 변색 및 기타 표면 결함을 감지 할 수 있습니다. 또한 검사 프로세스를 용이하게하기 위해 측정 된 결함을 정량화하는 데 도움이되는 고급 알고리즘 (advanced algorithm) 이 있습니다. 자산은 또한 자동화된 결함 분류 모델 (automated defect classification model) 을 제공하여 모양과 크기에 따라 결함을 분류합니다. 이를 통해 연산자는 진정한 결함과 잘못된 경보를 쉽게 구별 할 수 있습니다. LS 6800은 내구성이 뛰어난 결과를 제공합니다. 자체 점검 장비와 유지 보수 일정이 내장되어 있어 필요에 따라 시스템이 실행되도록 합니다 (영문). 또한 로컬 (Local) 및 원격 (Remote) 지원 옵션과 함께 제공되어 장치가 제대로 서비스되는지 확인합니다. 결론적으로 LS6800은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 첨단 3 차원 이미징 기술과 수많은 인터페이스 (interface) 는 제조 과정에서 다양한 구성 요소와 표면을 검사하려는 조직에 적합한 선택입니다. 기계는 안정적이고, 사용하기 쉽고, 매우 정확한 결과를 제공합니다.
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