판매용 중고 HITACHI LS 6800 #9149619

HITACHI LS 6800은 HITACHI High Technologies에서 개발한 업계 최고의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고성능, 고정밀도 제품으로 반도체 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 의 결함을 파악하기 위한 안정적이고 정확한 솔루션을 고객에게 제공하도록 설계되었습니다. 이 장치는 다양한 유형의 제품과 프로세스에 적용 가능한, 빠르고, 반복 가능하며, 높은 정확도를 검사할 수 있는 다양한 기능을 제공합니다 (영문). HITACHI LS6800 은 제품 표면에서 가장 작은 결함까지도 감지할 수 있는 고유한 광 이미지 파면 분석 (optical image wavefront analysis) 기능을 비롯한 다양한 광 이미징 기술을 사용합니다. 가시 광원 (visible light), 자외선 (UV light), 레이저 (laser) 등 다양한 유형의 결함을 식별하기 위해 다양한 광원이 사용됩니다. 컴퓨터는 다양한 소프트웨어 (software) 로 구성할 수도 있는데, 사용자가 특정 요구에 따라 검사 속도, 기능, 정밀도 (precision level) 를 사용자 정의할 수 있습니다. 이 도구에는 다양한 이미지 센서 (Image Sensor) 와 광학 컴포넌트 (Optical Component) 가 포함되어 있어 웨이퍼 (Wafer), 마스크 위치 및 결함 크기를 매우 정확하게 측정할 수 있습니다. 이러한 구성 요소를 활용하여, 사용자는 제품에서 가장 작은 결함을 정확하게 파악할 수 있습니다. 또한, 광학 패턴 일치 (optical pattern matching) 기능을 사용하여 맨눈으로 볼 수없는 결함을 식별 할 수 있습니다. 전체 워크플로를 개선하기 위해 LS 6800에는 고급 3D 검사 에셋이 장착되어 있습니다. 이 모델은 여러 각도에서 이미지를 분석할 수 있으며, 한 각도에서 감춰지거나, 보기 어려운 결함을 쉽게 식별할 수 있습니다 (영문). 사용자는 강력한 매개변수 데이터베이스 (parameter database) 를 사용하여 특정 작업과 프로세스에 대한 매개변수를 쉽게 저장할 수 있으므로 검사 프로세스를 보다 효율적이고 정확하게 수행할 수 있습니다. 전반적으로 LS6800 은 강력하고 다양한 마스크/웨이퍼 (wafer) 검사 장비로, 다양한 제품과 프로세스에 대해 정확하고 반복적으로 검사를 수행할 수 있습니다. 종합적인 기능, 이미지 센서, 광학 구성 요소 (optical component) 를 통해 다양한 유형의 반도체 검사 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다. 신뢰할 수 있고 정확한 결과를 제공하는 HITACHI LS 6800 은 신뢰할 수 있는, 고성능, 비용 효율적인 검사 시스템을 원하는 고객에게 적합한 솔루션입니다.