판매용 중고 HITACHI LS 6000 #9026253

HITACHI LS 6000은 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크 및 웨이퍼를 정확하고, 강력하고, 비용 효율적인 검사하도록 설계되었습니다. 이 제품은 작은 결함을 파악하고, 감지한 다음, 이를 정확히 측정하고, 정량화하는 데 도움이 되는 전문 기술 제품군을 제공합니다. LS 6000은 결함이 빠르고 쉽게 감지되고 분리되도록 합니다. 이 시스템에는 250X 광학 시스템이 장착되어 있는데, 이 시스템은 화이트 라이트 스캐닝 기술을 사용하여 결함을 정확하게 감지합니다. 조명 된 이미징 장치는 광학과 소프트웨어를 결합하여 0.5 미크론 (äm) 의 작은 결함을 감지합니다. 또한 밝은 필드 (field) 와 어두운 필드 검사 (dark field inspection) 를 사용하여 불투명도 특성이 다른 결함을 신속하게 감지합니다. 내장된 모션 및 이미지 처리 기능은 자동화된 소프트웨어 기반 기능으로, 워크플로우를 자동화할 수 있습니다. 또한 HITACHI LS 6000 은 빠르고 정밀한 샘플 로더를 제공합니다. 이 로더는 시간당 최대 60 개의 로딩 속도로 최대 400 개의 웨이퍼 또는 마스크를 로드할 수 있습니다. 이 기계의 자동 초점 인식 (Automated Focus Recognition) 기술은 빠르고 정확한 초점 검사를 보장하는 반면, 내장 노출 터미널은 일관된 결과를 위해 조명을 자동 수정합니다. LS 6000의 다른 기능으로는 기본 제공되는 검사 및 분류 소프트웨어, 0.5 äm까지의 정확한 해상도, 사용자 정의 가능한 결함 임계값, 다양한 이미지 처리 기능, 사용자 친화적 인 인터페이스 등이 있습니다. 이 툴은 또한 포괄적인 결함 검토, 결함 분석, 제품 설계 피드백 (feedback) 을 위한 완벽한 프로그래밍/보고 툴을 제공합니다. HITACHI LS 6000 마스크 및 웨이퍼 검사 자산은 반도체 제작, 평면 패널 디스플레이 제작, 집적 회로 설계 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 매우 작은 것을 포함하여 다양한 결함을 감지 할 수 있습니다 (예: 매우 작은 결함). 자동화된 플랫폼은 신속한 결함 감지, 사용자 친화적 운영 및 안정적인 성능을 제공합니다. 내장 프로그래밍 및 보고 도구는 포괄적인 결함 검토 및 제품 피드백을 제공합니다. 따라서 LS 6000은 강력하고 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다.