판매용 중고 HITACHI LS 6000 #293762282
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HITACHI LS 6000은 다용도 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 마스크, 웨이퍼, 레티클, 기타 부품과 같은 다양한 반도체 재료에 대한 정확하고 효율적인 테스트를 위해 설계되었습니다. 이 시스템에는 2 가지 주요 구성 요소 (온톨로지 기반 검사 장치 및 고급 광학 및 전기 기술을 사용하는 이국적인 기계) 가 있습니다. 온톨로지 기반 검사 도구는 2 개의 고속 광학 카메라로 구동되어 동시에 웨이퍼를 이미지화합니다. "카메라 '에는 층 별 결함 을 분석 할 수 있는" 필터 휠' 이 장착 되어 있어서 매우 정확 한 결과 를 낼 수 있다. 자산은 고급 패턴 인식 알고리즘 (advanced pattern recognition algorithms) 과 고급 광학 (advanced optics) 을 사용하여 설정된 시간 프레임 내에서 결함을 정확하게 감지하고 보고합니다. 반면에, 이국적인 모델은 고유 한 유형의 전기 방전 장비 (electrical discharge equipment) 와 여러 커패시터 (capacitor) 를 사용하여 검출기를 구동합니다. 이 방법은 더 작고, 더 복잡한 구조를 테스트하는 데 특히 효과적이며, 그렇지 않으면 다른 방법으로 테스트하기가 너무 어려울 수 있습니다. 또한 "커패시터 '를 여러 가지 값 으로 설정 하여 가장 복잡 한 구조 에 대한 정확 한" 테스트' 를 할 수 있다. 이 장비에는 대화형 사용자 인터페이스 (Interactive User Interface), 다중 이미지 창 (Multiple Image Window), 그래픽 보고 (Graphical Reporting) 등 여러 가지 다른 기능도 있습니다 이 인터페이스를 사용하면 간단하고 사용하기 쉬운 탐색 및 이미지 조작을 실시간으로 수행할 수 있습니다. 여러 창을 사용하면 두 이미지를 나란히 볼 수 있으며, 검사 결과를 비교하고 확인할 수 있습니다. 마지막으로, 시스템에서 검색된 결함을 자세히 설명하는 사용자 지정 그래픽 보고서 (customizable graphical reports) 를 생성할 수 있습니다. LS 6000은 신뢰할 수 있고 기능이 풍부한 마스크와 웨이퍼 검사 장치입니다. 이국적인 도구와 결합 된 온톨로지 기반 머신 (ontology-based machine) 을 사용하면 적시에 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 대화형 사용자 인터페이스 (Interactive User Interface), 다중 이미지 창 (Multiple Image Window) 및 그래픽 보고 기능을 통해 반도체 업계를 위한 귀중한 툴이 됩니다.
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