판매용 중고 HITACHI LS 6000 #293761998

HITACHI LS 6000
ID: 293761998
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Particle inspection system, 8" 2001 vintage.
HITACHI LS 6000 은 고급 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 검사 장비로, 집적 회로 제작의 결함을 감지하기 위해 설계되었습니다. 이 다목적 시스템은 최첨단 이미징 기술과 고급 알고리즘을 활용하여 반도체 마스크, 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 감지하고 정확한 결과를 제공합니다. LS 6000 은 이미지 인식 모듈을 갖춘 고급 이미징 유닛 (Advanced Imaging Unit) 으로, 마스크 또는 웨이퍼에 작은 설계 결함을 신속하게 검사하고 감지할 수 있습니다. 이 기계는 리소그래피, 노출, 에칭, 증착, 평면 수지 적용과 같은 프로세스 단계에서 발견되는 일반적인 문제를 감지하도록 설계되었습니다. 결함을 자세히 검사하고 분류할 수 있는 결함 맵이 내장되어 있습니다 (영문). HITACHI LS 6000 은 또한 정교한 분석 툴을 갖추고 있으며, 이 툴을 통해 이미지의 결함을 즉시 감지하고 분류할 수 있습니다. 이 도구는 자동 검사를 위해 설계되어 결함 이미지에 대한 즉각적인 스크리닝 (screening) 및 상세한 분석 기능을 제공합니다. 에셋을 프로그래밍하여 주기적 스캔 (periodic scan) 과 맞춤형 스캔 (custom scan) 을 제공하고 운영자가 제품 품질을 모니터링하고 표준을 유지할 수 있도록 할 수 있습니다. 이 모델에는 고급 도량형 (advanced metrology) 기능도 있습니다. 이 기능은 결함의 정확한 크기와 모양을 측정하는 데 사용할 수 있습니다. 도량형 소프트웨어 (metrology software) 는 또한 세분화된 수준에서 제품 수율을 추적 및 분석 할 수있는 고급 알고리즘을 갖추고 있습니다. 즉, 운영자가 제품 품질을 실시간으로 모니터링하면서 잠재적인 문제를 파악할 수 있으므로 품질 보증 (Quality Assurance) 을 위한 강력한 툴을 제공합니다. LS 6000 은 반도체 회로를 검사하고 고품질 제품을 보장하기 위한 강력하고 신뢰할 수 있는 기계입니다. 이 기계는 가장 야심 찬 설계를 위해 설계되었으며, 가장 작은 결함까지도 감지하면서 가능한 가장 높은 결과를 산출합니다. 안정적이고 비용 효율적인 검사 장비를 필요로 하는 마스크/웨이퍼 (Mask/Wafer) 제조업체를 위해 설계되었으며, 효율적인 워크플로우를 위한 사용하기 쉬운 사용자 인터페이스를 제공합니다.
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