판매용 중고 HITACHI LA-3100 #293643616
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HITACHI LA-3100은 반도체 제조의 정확한 요구를 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고급 (Advanced) 기능을 갖춘 견고한 디자인으로 다양한 검사 어플리케이션에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 시스템에는 AMC (Automatic Magnification Changer) 가 있어 35 배에서 300 배 사이의 가변 배율을 제공합니다. 이렇게 하면 수동 조정 없이 가장 적합한 배율을 선택할 수 있습니다. LA-3100 은 독보적인 "Instant Acquisition (즉시 구입)" 기능을 통해, 렌즈를 조정할 필요 없이 많은 반복 이미지를 신속하게 캡처할 수 있습니다. 또한 HITACHI LA-3100의 HCFD (High Contrast Focus Detection) 는 각 이미지 캡처 동안 자동으로 최적의 초점 수준으로 조정하는 업계 최고의 기능입니다. LA-3100 은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 애플리케이션에 사용할 수 있는 자동 Stage Vision (SV) 옵션도 제공합니다. SV 카메라는 HITACHI LA-3100 장치의 AMC와 동기화되므로 수동 운영자 개입 (manual operator intervention) 없이 관심 영역을 신속하게 정향 조정할 수 있습니다. 이렇게 하면 이미지 검사 워크플로의 정확성과 효율성이 향상됩니다. LA-3100은 고해상도 이미징, 마이크로 패턴 구조 감지, 양면 이미징, 실시간 이미지 개선 등의 추가 기능을 제공합니다. 유연하고 직관적인 플랫폼 (platform) 을 통해 사용자의 애플리케이션별 요구 사항을 완벽하게 충족할 수 있습니다. 사용자 친화적인 HITACHI LA-3100 그래픽 인터페이스를 사용하면 쉽게 작업하고 데이터를 검색할 수 있습니다. 데이터베이스 머신이 내장되어 있으므로, 검사 프로세스에서 데이터를 수집하여 분석 (Analysis) 하여 공구 성능을 향상시킬 수 있습니다. 온보드 품질 제어 검토 모드 (Onboard Quality Control Review Mode) 를 사용하면 에셋의 결과를 검토하고 필요한 경우 변경할 수 있습니다. LA-3100 은 마스크 및 웨이퍼 검사를 위한 포괄적이고 안정적인 솔루션을 제공합니다. 대용량 기능 세트, 고성능 카메라, 스테이지 시스템을 갖춘 이 제품은 비용 효율적이고 안정적인 패키지에서 고급 마스크 검사 (advanced mask inspection) 기능을 필요로 하는 모든 반도체 제조업체에 적합합니다.
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