판매용 중고 HITACHI LA-3100 #293643481

HITACHI LA-3100은 HITACHI에서 개발 한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer), 마스크 (mask), 포토마스크 (photomask) 등을 검사하는 데 사용되는 완전 자동화된 고출력 시스템이다. 이 장치는 여러 개의 칩을 동시에 검사하여 처리량을 높일 수 있는 배치 처리 (batch processing) 를 지원합니다. LA-3100 은 이중 (double) 및 삼중 (triple) 노출 모드의 고정밀 이미지 센서를 탑재하여 감지 및 분석 시 높은 정확도를 제공합니다. 이 기계에는 AFW (Automatic Wafer Feeder) 및 MIP (Multiple Image Processing System) 가 장착되어 있어 일회성 이미징이 가능합니다. 또한 자동 정렬기 (Automatic Aligner) 를 장착하여 웨이퍼의 6 면 모두를 이미징하고 정렬 할 수 있습니다. 이 도구는 독점적 인 LIFI (Laser-Induced Fluorescence Imaging) 방법을 특징으로하며, 이는 파괴적이지 않은 영상을 허용하고 시야에서 입자를 제거합니다. 자산에는 자동화된 수리 모델 (automated repairing model) 이 장착되어 있어 결함의 실시간 수리를 지원하며, 장비의 정확성과 효율성이 향상됩니다. 시스템의 이미지 인식 장치 (image recognition unit) 는 모서리 추출 (edge extraction) 과 구멍 탐지 (hole detection) 기술을 모두 사용하여 결함 감지 및 분석에서 높은 정밀도를 허용합니다. 또한 MIP 도구와 결합된 이 기계의 이미징 소프트웨어는 고해상도 이미지 및 신호 처리 (예: 광학 필터) 를 처리하여 고속 (high-speed) 및 고정밀 (high-precision) 이미지 분석을 가능하게 합니다. 이 자산에는 실시간 이미지 벡터 분석 모델 (real-time image vector analysis model) 이 장착되어 있으며, 이는 인간 개입 없이도 결함을 정밀하게 감지할 수 있습니다. 또한 이미지를 저장하고, 결과를 아카이빙하고, 결함 내역을 볼 수 있습니다. HITACHI LA-3100은 반도체 웨이퍼, 마스크 및 포토 마스크 검사를 위한 이상적인 솔루션입니다. 고속, 고정밀 이미지 분석 및 자동 결함 복구와 결합된 고정밀 이미징 센서와 자동 정렬 (automatic alignment) 은 탁월한 정확도와 신뢰성을 제공합니다. 장비의 실시간 이미지 벡터 분석 시스템 (Real-Time Image Vector Analysis System) 은 다른 시스템보다 우위를 점하며, 결함 탐지의 정확성과 효율성이 향상됩니다.