판매용 중고 HITACHI IS 3720 #9148226
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HITACHI IS 3720은 마스크 및 웨이퍼 검사 응용 프로그램 모두를 위해 특별히 설계된 다목적 Microscopic InspadeT 장비입니다. 수많은 마스크 및 웨이퍼 결함이 빠르고, 정확하고, 고해상도 이미징을 제공하도록 설계되었습니다. 사용자 지정 (custom) 구성을 위한 다양한 옵션이 제공되어 구체적인 프로젝트 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 및 자동 감지 기술을 통해 마스크 및 웨이퍼 검사를 최적화합니다. 플랫 및 커브 표면을 자동으로 검사하기위한 2 개의 고급 모터 단계 (Motorized Stage) 가 있습니다. 동력 단계는 마스크와 웨이퍼를 분석 할 때 추가 정밀도를 제공합니다. 이 장치에는 완전히 통합 된 이미징 머신도 포함되어 있습니다. 이 도구는 브라이트필드 (brightfield) 와 다크필드 (darkfield) 조명 모드에서 샘플의 고해상도 디지털 이미지를 캡처하는 데 사용됩니다. CCD (charge-coupled device) 카메라, 조절 가능한 렌즈 세트 및 전자 셔터로 구성됩니다. 자산은 또한 고급 알고리즘의 조합을 사용하여 통합 에지 감지 (edge detection) 및 결함 분석 기능을 제공합니다. 이 모델에는 3 축 동력 스테이지와 고출력 광 경로가있는 유연한 마스킹 스테이션이 있습니다. 이 스테이션은 결함을 분석 할 때 마스크 및 웨이퍼의 가시성을 최적화하는 데 사용되며, 2 차원 및 3 차원 모드에서 가변 마스크 정렬을 허용합니다. 또한, 이 장비는 고급 사용자 친화적 인 인터페이스와 포괄적인 소프트웨어 제품군을 갖추고 있습니다. 이 소프트웨어는 결함 식별을위한 패턴 인식 (pattern recognition), 심층 분석을위한 자동 패턴 인식 (automated pattern recognition) 및 미세한 3D 이미징을 포함하여 광범위한 작업을 수행하는 데 사용될 수 있습니다. 이 시스템은 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 에 의해 보완되며, 이를 통해 검사 요구사항을 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. IS 3720은 마스크 및 웨이퍼 검사 요구 사항을 모두 충족하는 안정적이고 고급 Microscopic InspadeT Unit입니다. 다양한 맞춤형 옵션과 고해상도 이미징 머신 (High-Resolution Imaging Machine) 을 통해 정확하고 신속하게 결함을 분석할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 통합 소프트웨어 (integrated software) 제품군을 사용하면 업무 중단을 최소화하면서 모든 프로젝트를 빠르고 효율적으로 완료할 수 있습니다.
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