판매용 중고 HITACHI IS 3000SE #293760735
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HITACHI IS 3000SE (HITACHI IS 3000SE) 는 마스크와 웨이퍼의 복잡한 구조와 패턴에서 오류를 검사하고 감지하기 위한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 과 고감도 레이저 빔 (laser beam) 의 조합을 사용하여 다양한 재료에서 10nm 정도의 결함을 정확하게 검사하고 감지합니다. 한 바둑에서 최대 200mm 웨이퍼를 검사 할 수 있으며, 최대 10 m 두께의 구조를 검사 할 수 있습니다. 검사 장치는 마스크 및 웨이퍼를 검사하기 위해 다양한 도구를 사용하는 정밀도가 높은 AOI (Automatic Optical Inspection) 머신을 기반으로합니다. 표적의 패턴과 구조를 검사하는 레이저 빔 (laser beam) 과 고해상도 이미징을 위한 특수 렌즈 (lenses) 를 사용합니다. 이것 은 "마스크 '와" 웨이퍼' 의 결함 을 감지 하는 면 에서 높은 수준 의 정확도 를 가능 케 한다. 이 도구는 또한 고급 자동 스캐닝 (Automatic Scanning) 기능을 갖추고 있어 감지 및 검사 시간을 단축하고, 자산을 보다 효율적으로 가동할 수 있습니다. 또한 데이터를 실시간으로 처리, 분석할 수 있으며, 감지되지 않은 오류를 감지하고 완화할 수 있습니다 (영문). 또한, 이 모델에는 결함 있는 패턴을 감지하기 위한 지능형 라이브러리 (Intelligent Library) 가 포함되어 있어 모든 문제를 빠르고 쉽게 식별할 수 있습니다. 이 장비는 사용하기 쉽도록 설계되었으며, 사용하기 편리한 사용자 인터페이스를 제공합니다. 또한 유연성이 높으며, 다양한 유형의 검사에 사용할 수 있도록 설정할 수 있습니다. 즉, 사용자는 해당 프로젝트의 특정 요구 사항에 맞게 시스템을 조정할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, HITACHI IS-3000SE는 최소한의 노력으로 안정적인 결과를 제공할 수 있는 강력하고 안정적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장치입니다. 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 에 대한 패턴과 구조를 검사해야 하는 모든 작업에 이상적인 솔루션입니다. 유연성과 다양한 도구를 통해 다양한 검사 (inspection) 작업에 적합합니다.
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