판매용 중고 HITACHI IS 2700SE #9123256
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ID: 9123256
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Defect inspection system, 12"
Process: Scanning electron microscope(SEM)
(2) Loadports: TDS TAS3000
Dalsa controller
TDI Sensor
Laser box
Microscope
Stage assy
Controller card cage (left):
CPK B/D Slot 11~15, 20, 22~25
CPK B/D Slot 16~19, 21
Macro 6642 B/D
TECTRON B/D
Controller card cage (right):
BPK B/D Slot 11~14,17~20, 22~25, 28~31
BPK B/D Slot 15,16, 21,26,27, 32~34
Operation module:
System computer
(3) Power supplies
CCD monitor
PC monitor
Video printer
Laser power switch box
Coherent laser controller
Keyboard, joystick, trackball
Rear cover missing
Power: AC200V, 1 Phase, 3-wires, 50/60Hz, 60A
2004 vintage.
HITACHI IS 2700SE 마스크 & 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 장비는 반도체 및 전자 제조 업계의 포토마스크 및 웨이퍼를 효율적으로 분석하기 위해 설계된 고급 자동 광검사 시스템입니다. 신형 설계 (New Design) 와 신형 설계 (Existing Design) 모두에서 신속하게 결함을 식별할 수 있는 빠른 속도와 매우 정확한 검사 기능을 제공합니다. IS 2700SE의 디자인은 정밀도, 6 축 로봇 및 80 메가 픽셀 이미지 처리 센서로 초기 단계 마스크와 웨이퍼를 모두 매우 세밀하게 검사 할 수 있습니다. 복잡한 다면 검사뿐만 아니라 전면 및 후면을 모두 제공합니다. 또한, 웨이퍼 검사 기능에는 석영 및 유리 기판의 결함 식별이 포함됩니다. HITACHI IS 2700SE는 고정밀 광학 이미징 기술을 활용하여 크기가 최대 2 나노미터 (2 나노미터) 인 가장 작은 결함까지도 정확하게 감지합니다. 장치 고유의 다중 빔 공백 (multi-beam confocal) 광학 구성으로, 기계가 일반적인 렌즈 공구 (lens tool) 보다 훨씬 더 정확한 이미지를 얻을 수 있습니다. 이를 통해 IS 2700SE는 결함을 보다 신속하게 식별할 수 있으며, 몇 초 안에 정확한 결과를 등록할 수 있습니다. 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 유형의 조합을 처리 할 수있는 프로브 배열을 통해 에셋은 평평한 표면, 미세 전극, 스텝 서피스 및 그루브 (grooved) 재료를 검사 할 수 있습니다. 이 모델에는 다양한 자동 테스트 (automated test) 가 있으며, 다양한 소프트웨어와 함께 사용할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 결과를 보고 테스트 매개변수 (parameter) 를 설정하여 보다 빠르고 효율적으로 수행할 수 있습니다. 소프트웨어에는 결함 분류, 감지 조정, 영역 지향 검사, 결함 현지화, 임계값 패턴 및 순차 결함 맵이 포함됩니다. HITACHI IS 2700SE 는 사용자가 작업 수행 방식을 사용자 정의할 수 있는 다양한 툴을 제공합니다. 여기에는 이미지 및 결함 메모리, 자동 변환 프로그래밍 및 감지 워크플로 모니터링이 포함됩니다. 또한 사용자 친화적 인 GUI 인터페이스를 통해 작업을 간소화하고 운영자가 존재할 필요가 없습니다 (영문). IS 2700SE는 포토마스크 (photomask) 와 웨이퍼 (wafer) 의 결함을 효율적으로 분석하고 자동화할 수 있는 안정적이고 효율적인 도구입니다. 자동화된 테스트와 사용자 친화적 GUI 를 통해 강력한 검사 기능을 제공하며, 반도체 (semiconductor) 및 전자 제품 제조 설비 (manufacturing facility) 를 갖추어야 합니다.
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