판매용 중고 HITACHI IS 2700SE #9083778

HITACHI IS 2700SE는 마스크 및 웨이퍼 검사를위한 세계 최고의 장비입니다. 반도체/마이크로서킷 (microcircuit) 제조업체가 마스크 및 웨이퍼 패턴에서 관련 세부 사항을 측정, 감지, 추출하여 효율적인 프로세스 제어 및 최적화를 위해 설계되었습니다. 이 시스템은 광원, 카메라 서브 유닛, 이미징 머신, 오버레이 분석 소프트웨어 등 4 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 광원은 대략 500W의 전력 출력을 가진 초 보라색 (약 365nm의 파장) 방전 램프입니다. 카메라 서브툴은 광원 출력을 이미징 에셋으로 캡처, 전송하는 역할을 합니다. 이미징 모델은 CCD 카메라와 쌍안 현미경의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 현미경은 CCD 카메라에서 이미지를 확대하여 결함과 결함을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있도록 합니다 (영문). 그런 다음 오버레이 분석 (overlay analysis) 소프트웨어는 이미징 장비로부터 캡처된 이미지를 가져와 웨이퍼 (wafer) 또는 마스크 (mask) 의 패턴 품질을 결정하고 미리 정의된 표준과 비교합니다. 이 시스템은 다양한 표면 모양과 마스크를 지원할 수 있으며, 픽셀 크기는 최대 8um (최대 8um) 입니다. 레이어 두께는 최대 0.1um, 이미지 크기는 2288 x 1712입니다. 최대 초점 범위는 1.3mm, 속도는 초당 2.4 프레임으로, 고정밀 제조 공정에 이상적입니다. 이 장치에는 사용자가 가장 정확한 결과를 얻을 수 있도록 지원하는 다양한 응용 프로그램이 포함되어 있습니다. 여기에는 데이터 분석 기능 (wafer 또는 mask 의 결함을 식별하고 분석) 이 포함됩니다. 또한, 정확도 설정 기능을 사용하여 특정 고객 요구 사항에 따라 결과를 조정할 수 있습니다. 또한 자동화된 토폴로지 데이터베이스의 자동 감지, 수동 감지, 분석 등과 같은 여러 측정 모드를 지원합니다. IS 2700SE 도구는 또한 사용자에게 친숙한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 에셋 (asset) 을 빠르고 쉽게 선택하고 구성할 수 있으며, 요구 사항에 가장 적합한 매개변수를 조작할 수 있습니다. 마지막으로, 이 모델은 PCNT, TCP/IP 및 기타 네트워크와 같은 여러 플랫폼을 지원하는 유연한 네트워킹 기능을 제공합니다. HITACHI IS 2700SE 장비는 마스크 및 웨이퍼의 결함을 효율적으로 측정, 감지, 분석하려는 반도체/마이크로서킷 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 이 시스템을 사용함으로써, 제조업체는 프로세스 지연 감소, 수익률 향상, 비용 절감, 제조 정확도 및 우수성 향상 등의 혜택을 누릴 수 있습니다.