판매용 중고 HITACHI IS 2700SE #9044470

ID: 9044470
Defect inspection system Power : 200VAC, 60A, 3phase, 50/60Hz Operation unit: Upper & Lower Monitor Keyboard & Joystick System Computer CP750A Video Printer Main AC Power Box Coherent Laser Box Missing: Dalsa Header and controller Stage X-Y controller Stage Z controller Robot Assembly in loader unit TDK TAS300 Load port, L/R 2001 vintage.
HITACHI IS 2700SE 는 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있는 전문적인 마스크/웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템은 제어 콘솔, 이미징 스테이션, 웨이퍼 스테이션으로 구성됩니다. 콘솔에는 중앙 처리 장치, 명령 프로세서, 보조 지원 장비가 포함되어 있습니다. 이미징 스테이션에는 프로그레시브 스캔 CCD 카메라, 편향 및 난시 보정 광학, 완전 자동화 된 웨이퍼 스테이지가 장착 된 마스크 스테이션 (mask station) 이 있습니다. 웨이퍼 스테이션에는 웨이퍼 홀딩 척 및 8 인치 오픈 프레임 이미지 센서가 있습니다. 검사 프로세스는 샘플 마스크의 웨이퍼 에지 (wafer edge), 막 (membrane) 및 칩 포장 (chip packing) 에서 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 색상 검사, 이미지 개선, 측정, 통합 결함 분석 (Integrated Defect Analysis) 등의 기능이 포함되어 있어 더욱 빠르고 정확하게 마스크를 검사할 수 있습니다. CCD 카메라에는 샘플 마스크의 고해상도 이미지를 제공하는 4K 픽셀 해상도가 있습니다. 카메라의 동적 범위를 사용하면 다양한 수준의 밝기, 대비, 색상, 패턴, 해상도로 다양한 마스크를 볼 수 있습니다. 검사 머신에는 검사 중인 샘플 마스크 (sample mask) 에 따라 검사 설정 (inspection settings) 을 선택할 수 있는 여러 필터 사전 설정도 포함되어 있습니다. 또한, 이 도구에는 미세 결함 감지 및 자동 결함 분석을 촉진하는 여러 알고리즘이 포함되어 있습니다. IS 2700SE 자산은 마스크 및 웨이퍼 검사에 매우 효율적인 모델입니다. 소프트웨어 인터페이스 (software interface) 를 통해 다양한 장비 기능을 쉽게 제어할 수 있습니다. 이 시스템은 다양한 프로그램을 실행할 수 있으며, 마스크 검사 과정을 크게 가속화합니다. 또한 CCD 카메라, 광학, 필터 사전 설정, 자동 결함 분석 알고리즘 등의 구성 요소를 사용하면 사용자가 정확하고 안정적인 검사 결과를 얻을 수 있습니다.
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