판매용 중고 HITACHI IS 2700SE #293760736

HITACHI IS 2700SE
ID: 293760736
Defect inspection systems.
HITACHI IS-2700SE (HITACHI IS-2700SE) 는 반도체 업계의 품질 보증 프로세스를 용이하게 하기 위해 설계된 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 매우 정확한 결함 감지를 위해 3D 스테레오 삼각 측량을 지원합니다. 이 시스템은 주 모듈, 이미지 획득 장치, 웨이퍼 처리 (wafer handling) 로봇으로 구성됩니다. 주 모듈에는 특허받은 프로젝션 정렬 기술과 지능형 이미징 알고리즘이 장착되어 있어 마스크 (masks) 나 웨이퍼 (wafer) 의 미세한 이미지를 신속하게 캡처하고 분석할 수 있습니다. 정밀 결함 검사를 위한 고해상도 및 고감도 288nm 레이저 광원이 특징입니다. 모듈식 설계를 통해 수리 및 업그레이드를 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 기본 모듈은 다운스트림 (Downstream) 제조 장비에 대한 통합 자동 링크를 제공하여 데이터를 신속하게 처리할 수 있습니다. 이미지 획득 장치는 액세서리 (옵션) 이며 정확한 이미지 안정화 및 고속 처리를 제공합니다. 2 개의 CCD 카메라를 사용하여 마스크 또는 웨이퍼의 3 차원 이미지를 캡처하며, 배율이 낮고 시야가 넓습니다. 에지 향상 장치 (Edge Enhancement Unit) 와 하이 다이내믹 레인지 필터 (High Dynamic Range Filter) 가 장착되어 있어 탁월한 정확도로 샘플의 미세한 세부 사항을 캡처 할 수 있습니다. "웨이퍼 '처리" 로봇' 은 "웨이퍼 '나" 마스크' 의 신속 하고 정확 한 이동 을 위해 설계 되었다. 정밀 이동과 주 모듈과의 정확한 정렬을 위해 4 축 로봇 암 (robot arm) 이 장착되어 있습니다. 로봇은 자동화되어 여러 웨이퍼와 마스크를 손쉽게 로드, 언로드, 처리할 수 있습니다. 전반적으로, IS-2700SE는 혁신적이고 포괄적인 마스크 및 웨이퍼 검사 머신으로, 정확한 결함 감지 및 신뢰성 있는 자동 데이터 처리를 제공하도록 설계되었습니다. 반도체 업계의 품질 보증 및 제조를 위한 최첨단 (최첨단) 솔루션입니다.
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