판매용 중고 HITACHI IS 2610 #9158756
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HITACHI IS 2610 (HITACHI IS 2610) 은 설계, 제조 및 레티클 관리 단계에서 포토마스크 검사를 위해 설계된 광역 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 완전 자동화된 고정밀 스캔 (High Precision Scanning) 및 검사 시스템으로, 다양한 이미지와 웨이퍼 유형에 사용할 수 있습니다. 이 장치에는 고유한 광학 어셈블리 (Optical Assembly) 가 장착되어 있으며, 넓은 범위의 Photomask 및 Wafer 샘플을 빠르게 검사하고 검사할 수 있으며, 해상도는 최대 12.5hm입니다. IS 2610은 매우 다재다능하며, 2 차원 패턴 인식 (bi-dimensional pattern recognition) 과 같은 여러 가지 실험에 사용되거나, 패턴을 0.5äm만큼 작게 검사하는 데 사용될 수 있습니다. 컴퓨터에는 자동 트랙 (auto-track) 기능이 제공되어 수작업 없이 샘플 이미지의 자동 패턴 인식, 마스크 추적, 마스크 등록을 수행할 수 있습니다. 이 도구는 5축 CCD 카메라와 회전 광축을 사용하므로, 이미지 분석 및 검사에서 가장 정밀합니다. 여러 이미지 처리 알고리즘을 사용하여 샘플 표면의 다양한 결함 (예: 스크래치, 버링 (burrs), 기타 결함) 을 감지할 수 있습니다. 에셋 (Asset) 에는 또한 사용자가 동일한 유형의 다른 단위로 전송할 수 있는 공통 구성 파일 (Common Configuration File) 에 설정을 저장할 수 있는 고유한 기능이 있습니다. 또한이 모델에는 인체 공학 및 공간 절약 디자인이 장착되어 있습니다. 이 "테이블 '은 수송 하기 쉬운 통합 작업" 테이블' 을 가지고 있으며, 크기 나 각도 에 관계 없이 손쉽게 조정 할 수 있어 정확 한 검사 를 할 수 있다. 이 장비는 다양한 주변 장치 (예: 프린터, 스캐너) 와도 통신할 수 있습니다. HITACHI IS 2610 옵티컬 어셈블리는 레이저와 초고해상도 이미징 조합으로 구동됩니다. 이를 통해 웨이퍼 기판에서 최적의 공통 기능 (예: 모서리, 코너, 패턴) 을 빠르고 정확하게 감지 할 수 있습니다. 또한 사용자는 사용자의 특정 요구 사항에 맞게 최적의 이미지 처리 (optimal imaging) 조건을 선택할 수 있습니다. IS 2610 은 고품질 웨이퍼 (wafer) 와 마스크 (mask) 를 생산하는 데 필수적인 툴로, 리서치, 제작 및 테스트룸에 사용할 수 있는 이상적인 시스템입니다. 즉, 고급 기능을 통해 설계를 빠르고 정확하게 시뮬레이션하고 분석할 수 있습니다. HITACHI IS 2610 은 마스크 생산 및 웨이퍼 검사 (wafer inspection) 와 관련된 생산성을 대폭 향상시키고 생산 비용을 절감하는 데 사용될 수 있습니다.
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