판매용 중고 HITACHI IS 2000 #9103910

HITACHI IS 2000 마스크 및 웨이퍼 검사 장비 (Wafer Inspection Equipment) 는 뛰어난 디자인과 고급 마스크 및 웨이퍼 결함 감지 기능을 결합한 자동화된 고출력 마스크 및 단일 웨이퍼 검사 시스템입니다. 이 장치는 사용자 개입을 최소화하면서 결함 탐지에 가장 적합한 결과를 제공하고자 합니다 (영문). 이 기계는 고에너지 BSE/SE/Raman 이미징 기술을 사용하여 고해상도 10 메가 픽셀 (11,520 x 9,024 픽셀) 펠티어 냉각, 50mm CCD 카메라를 사용하여 최소 소음 수준의 고대비 이미지를 생성합니다. 이 도구에는 이미지 프로세싱을위한 고급 새로운 알고리즘과 결함 감지를 개선하기위한 기능 인식 (feature recognition) 도 포함되어 있습니다. 스테이지 해상도는 0.6um에서 0.5jm, 경계 중심 왜곡 < 100nm 및 배경 및 광학 유전체 측정 정확도는 < 1% 입니다. 이 자산은 최소 값 0.1 인치, 정확도 0.08 미터의 결함 길이 측정도 가능합니다. 이 모델은 탁월한 설계/결함 감지 기능 외에도 강력한 소프트웨어 (software) 를 탑재하여 사용자에게 친숙한 운영을 보장합니다. 이 장비는 자동 결함 분류, 초점 제어, 검사 패턴 생성, 결함 방지 설정, 결함 맵 관리 등 다양한 유용한 기능을 제공합니다. 시스템은 검사 결과를 자동으로 저장할 수도 있습니다. 소프트웨어는 Windows (7 이상) 에서 실행되므로 쉽게 작동할 수 있습니다. IS 2000 Mask & Wafer Inspection Unit (IS 2000 마스크 및 웨이퍼 검사 장치) 은 결함을 식별하는 프로세스를 자동화하도록 설계되어 고급 프로세스 제어에서 마스크 또는 웨이퍼 개발에 이르는 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 제품 설계를 통해 다양한 마스크 (Mask) 와 단일 웨이퍼 (Single Wafer) 를 검사할 수 있으며, 강력한 비용 효율적인 솔루션을 통해 마스크 및 웨이퍼 검사를 수행할 수 있습니다.