판매용 중고 HITACHI IS-2000 #293820662
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HITACHI IS 2000은 두꺼운 웨이퍼 및 멀티 레이어 필름을 효율적으로 검사하기 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 매우 정확한 결함 탐지를 위한 고정밀 다이 투 다이 (Die-to-Die) 비교를 통해 IS 2000은 생산 라인에서 반도체 부품의 안정적인 품질 및 수율 제어를 제공합니다. 이 시스템은 오브젝티브 렌즈 (objective lens), 일루미네이터 (Illuminator) 및 웨이퍼 및 마스크 이미지를 캡처하는 CCD 카메라가있는 광학 현미경으로 구성됩니다. LCD 모니터에 이미지가 표시됩니다. 이미지 처리 장치는 샘플 이미지를 대상에 비교합니다. 금속 층 의 먼지, 입자, 긁힘, 배선 패턴 의 접점 "비아 ', 마스크 의 결함 과 같은 모든 차이 가 발견 된다. HITACHI IS 2000 Light Source는 반사 이미징 및 전송 이미징에 모두 적합하도록 최적화되었습니다. 온도 내성이 높은 고출력 할로겐 램프 (halogen lamp) 를 사용하여 조명을 고르게 합니다. 활성 냉각기는 램프가 고온에 도달하지 못하도록 내장되어 있습니다. IS 2000은 고정밀 오브젝티브 렌즈를 사용하여 샘플의 이미지를 캡처합니다. "렌즈 '는 여러 개 의" 렌즈' 로 설계 되어 있으며 "웨이퍼 '를 매우 정확 하게 정렬 할 수 있다. 매우 정확한 4축 정렬 메커니즘을 사용하면, 웨이퍼의 여러 점을 빠르고 정확하게 정렬할 수 있습니다. HITACHI IS 2000의 이미지 처리 장치는 뛰어난 해상도와 명암비를 제공하는 2048 x 2022 픽셀 CCD 카메라를 사용합니다. IS 2000 은 고급 (advanced) 옵틱과 이미징 (imaging) 기술을 결합하여 최고 수준의 정확도로 다양한 결함을 감지할 수 있습니다. HITACHI IS 2000은 멀티 마스크 비교 및 다이 마크 분석을 수행할 수도 있습니다. 마스크 데이터를 대상 (target) 패턴과 비교하면 IS 2000 은 가장 미묘한 차이점까지 감지할 수 있다. 전반적으로 HITACHI IS 2000은 두꺼운 웨이퍼와 멀티 레이어 필름을 효율적으로 검사할 수 있는 훌륭한 도구입니다. 고급 옵틱 (Optic), 정교한 이미징 기술, 강력한 이미지 처리 기능으로 다양한 오류, 결함, 높은 수준의 정확성과 신뢰성을 감지할 수 있습니다.
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