판매용 중고 HITACHI I6300 #9239058

ID: 9239058
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
E-Beam inspection system, 12" 2010 vintage.
HITACHI I6300 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 와퍼 및 마스크를 정밀하게 검사하도록 설계된 최첨단 장비입니다. 반도체 제조업의 체계적인 검사 작업을 위한 자동화된 솔루션입니다. 이 시스템은 신뢰할 수있는 검사 장치와 강력한 스테이지 컨트롤 머신 (Stage Control Machine) 으로 구성되어 있으며, 미세 정렬 작업에서 높은 정확성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 검사 도구 (Inspection Tool) 는 광학에 대한 혁신적인 설계로, 정확한 초점 제어를 위해 고정되고 이동이 가능한 요소로 구성된 광학 자산을 포함합니다. 이 강력한 옵티컬 모델은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 를 모두 검사할 수 있으며 두 가지 모두에 뛰어난 결과를 제공합니다. HITACHI I 6300 (HITACHI I 6300) 은 고급 판독 기술을 통해 웨이퍼 및 마스크 모두에 대한 오염 물질, 이미징 결함 및 단계 높이와 관련된 결함을 식별할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 처리량이 많은 프로세스와 고급 (Advance) 프로세스를 통해 여러 검사 스타일을 고려하도록 설계되었습니다. "스테이지 시스템 '은" 웨이퍼' 와 "마스크 '의 정확 한 정렬 과 이동 을 위한 안정적 인" 플랫폼' 을 제공 한다. 스테이지 제어 장치를 사용하면 다양한 임계 값 및 단계 높이에서 미세 구조를 검토 할 수 있습니다. 향상된 열 설계를 통해 I-6300 (I-6300) 의 단계는 낮은 진동을 유지하고 기계에 대한 탁월한 환경 모니터링을 제공합니다. 또한, 이 단계는 빠르고 정확한 초점과 정렬 제어를 가능하게 하는 최적화된 광 도구 (optical tool) 로 설계되었습니다. 이 에셋에는 직관적이고 사용이 간편한 사용자 인터페이스 (User Interface) 도 함께 제공되며, 사용자는 데이터 시각화를 위한 매개변수를 빠르게 구성하거나, 즉석에서 미세 조정할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 I 6300 디자인은 최초 사용자에게도 사용이 간편합니다. 마지막으로, I6300은 신뢰할 수 있고 내구성이 뛰어난 정밀도구 (precision instrument) 로, 마스크 및 웨이퍼 검사를 가장 잘 추구하는 모든 반도체 전문가 팀의 귀중한 자산입니다. 최첨단 기술, 정교한 엔지니어링, 직관적인 사용자 인터페이스를 갖춘 HITACHI I-6300 은 뛰어난 정확성과 탁월한 성능을 제공하는 뛰어난 모델입니다.
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