판매용 중고 HERMES MICROVISION / HMI eScan 405 #9249422

HERMES MICROVISION / HMI eScan 405
ID: 9249422
빈티지: 2003
E-Beam inspection system 2003 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 405는 최첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 웨이퍼 및 마스크 제품의 결함과 불일치를 4 미크론 피치까지 감지하도록 설계되었습니다. 자동 Wafer 사전 정렬 및 스캔, White Light Imaging, 자동 Wafer 인식, 고급 데이터 획득 및 조작 기능을 제공합니다. HMI eScan 405 는 다양한 애플리케이션에서 사용할 수 있는 편리한 메뉴 기반 소프트웨어 (사용자 친화적 그래픽 인터페이스) 를 제공합니다. 이 장치는 고해상도 광학 장치 (optic) 를 통해 전체 기판 영역을 정확하게 검사할 수 있으며, 다중 스펙트럼 이미징 (multi-spectral imaging) 을 통해 고급 데이터 획득 기술과 결합하여 분석 시간을 단축할 수 있습니다. HERMES MICROVISION eScan 405는 또한 매우 효율적인 PFOV (Partal-Field-of-View) 이미징 머신을 통해 빠르고 효율적인 이미지 캡처를 지원합니다. 이 도구를 사용하면 관심 있는 항목을 스캐닝하고 캡처하는 것만으로 이미지 캡처 시간을 효과적으로 줄일 수 있습니다. EScan 405에는 솔더 볼, 마이크로 범프, 비아 (vias) 와 같은 부품과 상호 연관성이 있는 고급 패턴 인식 알고리즘도 포함되어 있습니다. 이 알고리즘은 자동 결함 분류를 가능하게 하며 효율적인 결함 감지를 보장합니다. 또한, 에셋은 공구의 수동 정렬에 소요되는 시간을 최소화하는 자동 공구 (automatic tool) 보정을 제공합니다. 웨이퍼 엣지를 자동으로 식별하는 특수 레이저 스팟 파인더 (specialized laser spot finder) 와 모든 에지 검색 및 검사 작업을 자동으로 수행하는 자동 결함 인식 (automated defect recognition) 하위 모델이 장착되어 있습니다. 마지막으로, HERMES MICROVISION/HMI eScan 405에는 고배율 단계를 사용하여 정확한 결함 검토 및 분석이 가능한 통합 결함 검토 스테이션이 포함되어 있습니다. 이 스테이션에는 고해상도 LED 검출기 (LED detector) 어레이가 장착되어 있어 결함을 별도로 측정, 처리하며 각 문제에 대한 자세한 정보를 운영자에게 제공합니다. HMI eScan 405 는 고급 광/데이터 획득 기술과 자동화된 웨이퍼 처리 및 LED 감지 기능을 결합하여 Wafer/Mask 제품의 최고 품질을 보장합니다. 즉, 사용자 중심의 설계를 통해 운영자가 시스템에 더 잘 남겨져 있는 작업에 시간을 낭비하지 않도록 하고, 자사 제품의 결함 또는 불일치를 빠르고, 정확하게 파악하고, 해결할 수 있습니다.
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