판매용 중고 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9378991

HERMES MICROVISION/HMI eScan 320은 다양한 속성에 대한 반도체 웨이퍼 및 마스크를 검사하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 두 가지 유형의 현미경, 흰색 광원, 이미징 카메라의 조합을 사용합니다. HMI eScan 320은 공기와 오일 몰입 (oil-immersed) 을 포함한 다양한 목표를 가진 표준 브라이트필드 광학 현미경을 사용하여 사용자가 미크론 수준까지 영역을 검사 할 수 있습니다. 대규모 연구 및 생산 응용의 경우, 5 축 동력 스테이지는 서브 미크론 정밀도를 갖는 x, y 및 z 축에서 대상의 이동을 허용합니다. 10 배에서 200 배까지의 다양한 확대 설정을 통해 검사 기능의 유연성을 극대화할 수 있습니다. HERMES MICROVISION eScan 320의 디지털 이미징 기능은 고급 Zeiss AxioCam ICMS 디지털 카메라에 의해 제공되며, 최대 1600배의 배율로 이미지를 캡처할 수 있습니다. 카메라에는 최대 36 이미지/초의 풀 프레임 속도를 가진 빠른 14 비트 CCD (charge-coupled device) 가 장착되어 있어 뛰어난 이미지 선명도와 디테일을 제공합니다. 색상 및 단색 확인 모드가 모두 지원됩니다. 또한, 외부 컬러 모니터가 카메라에 연결되어 이미지를 색상으로 볼 수 있습니다. 이 장치는 또한 고강도 LED 화이트 (LED White) 광원을 제공하여 전체 시야에 걸쳐 일관된 조명을 제공합니다. LED 광원 (LED Light Source) 은 강도가 다양하며 최적의 이미지를 위한 열 변광성이 낮은 광시야각을 제공합니다. EScan 320은 뛰어난 화질과 정밀 성능을 제공하는 통합 검사 기계입니다. 매우 상세한 마스크 및 웨이퍼 (wafer) 를 확대, 기록, 이미지로 구성할 수 있는 툴은 뛰어난 검사 기능이 필요한 운영/연구 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.