판매용 중고 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #9171729
이 품목은 이미 판매 된 것 같습니다. 아래 유사 제품을 확인하거나 연락해 주십시오. EMC 의 숙련된 팀이 이 제품을 찾을 수 있습니다.
확대하려면 누르십시오
판매
ID: 9171729
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
E-Beam defect inspection and review system, 12"
Integrated front-end
Dual pod FOUP, 12"
(2) High quality flat panel displays
GUI / Image computer XEON dual CPU 3.2GHZ, 2GB memory
Host computer Pentium IV 3.2 GHZ, 2GB memory
DBDB (Detection baseon design base) function
E-Chuck wafer holder
Active damping
TFE Electron beam emission source sub-system
Electron optics column sub-system
HV Power sub system
Programmable wafer biasing & charge balance control
SE and BSE high speed detection
2012 vintage.
HERMES MICROVISION/HMI eScan 320은 완전하게 통합 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 웨이퍼와 마스크의 결함 및 기타 불규칙성을 효율적으로 감지하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 2 차원 및 5 차원 이미징을 수행 할 수 있으며, 픽셀당 최대 17 미크론, 향상된 기능으로 최대 32nm 해상도를 측정합니다. HMI eScan 320은 고급 이미징 기법 (Advanced Imaging Technique) 을 사용하여 재료 또는 최상의 치수에 관계없이 다양한 마스크와 웨이퍼에 걸쳐 미세한 결함 및 대규모 분산을 자동으로 스캔하고 감지할 수 있습니다. 이 장치는 동적 이미징 (dynamic imaging) 기술을 사용하여 이미지를 빠르게 획득하고 정확하게 비교하여 칩 연속성 (chip continuity) 이나 품질 (quality) 에 영향을 줄 수 있는 불규칙성을 감지합니다. 또한, HERMES MICROVISION eScan 320은 속도 및 적용 범위 증가로 인해 넓은 지역에 대한 고급 결함 분석을 수행 할 수 있습니다. 이 고급 분석에는 큰 선 결함, 트레포일 결함, 다각형 결함, 피치 결함 등 다양한 유형의 결함에 대한 등방성 분석이 포함됩니다. 또한 작은 직경 구멍, 게이트 거리 분산 및 반바지에 대한 현지화 된 결함 이미징이 포함됩니다. EScan 320 은 저전력 (Low Power) 모드로 작동하여 넓은 영역을 신속하게 검사하고 동시에 전력 소비를 줄일 수 있습니다. 이 휴대용 테이블 탑 머신은 쉽게 운송하고 작동하도록 설계되었습니다. 이 툴에는 모델 성능 및 유지 보수 활동을 모니터링하는 에셋 감독자 (asset supervisor) 도 내장되어 있습니다. HERMES MICROVISION/HMI eScan 320은 강력하고 비용 효율적인 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 다양한 재료에서 다양한 결함을 감지하고 분석 할 수 있습니다. 고급 이미징 기술, 높은 정확도, 낮은 전력 소비량 덕분에 HMI eScan 320은 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스 (wafer inspection process) 를 최적화하려는 제조물에 적합한 도구입니다.
아직 리뷰가 없습니다