판매용 중고 HERMES MICROVISION / HMI eScan 320 #293641226
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HERMES MICROVISION/HMI eScan 320은 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 포토 마스크 및 웨이퍼 에지 이미지에 대한 정확한 고속 검사를 제공합니다. 다운타임이 최소화되고 유지 보수가 최소화되어 탁월한 정확성과 안정적인 검사 결과를 제공합니다 (영문). HMI eScan 320에는 최대 8äm의 마스크 표면을 스캔 할 수있는 18MP CCD (Charge Coupled Device) 센서가 장착되어 있습니다. 이 제품에는 강력한 처리 소프트웨어와 자동화된 "카메라 '정렬 시스템 (Camera Alignment System) 이 포함되어 있어 카메라의 정확한 위치와 이미징 센서의 정확한 정렬을 보장합니다. HERMES MICROVISION eScan 320에는 표준 마스크 및 사용자 정의 마스크를 검사하는 데 사용할 수있는 다양한 조명 유형이 있습니다. 여기에는 상단 뷰, 측면 뷰 및 하단 뷰 조명이 포함됩니다. 또한 EWA (Enhanced Wafer Alignment) 모드 및 전체 마스크 정렬 모드와 같은 여러 이미지 캡처 모드를 제공합니다. 또한, 고해상도 및 저해상도 웨이퍼를 검사하는 데 사용되는 고급 광학이 있습니다. EScan 320에는 정확하고 반복 가능한 마스크 검사 결과가 가능한 다양한 기능이 있습니다. 여기에는 매우 민감한 카메라, 특허를받은 Multi-Pattern Wavefront 이미지 기술, 자동 초점 장치 및 고급 처리 소프트웨어가 포함됩니다. 이러한 기능을 통해 HERMES MICROVISION/HMI eScan 320은 최대 정확성과 반복 성을 제공하면서 작은 결함을 2 미크론까지 감지할 수 있습니다. 또한, HMI eScan 320에는 독특한 자동 결함 인식 장치 (Automated Defect Recognition Machine) 가 있어 웨이퍼 또는 마스크에 입자, 긁힘과 같은 중요한 결함의 전체 결함 이미지를 생성 할 수 있습니다. 이 이미지들은 결함을 비교하고 분석하는 데 사용되며, 결함의 원인과 적절한 시정 (corrective action) 을 결정하는 데 도움이 됩니다. 마지막으로, HERMES MICROVISION eScan 320은 작동 및 유지 관리가 간편한 사용자 친화적 검사 도구입니다. 사용이 간편한 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 와 사용자 친화적 소프트웨어 (User-Friendly Software) 가 포함되어 있어 다양한 애플리케이션과 작업을 손쉽게 조정할 수 있습니다. 또한, 새로운 기술을 수용하도록 eScan 320을 업그레이드하여 업계 표준 마스크 및 웨이퍼 검사 프로세스를 통해 최신 상태로 유지할 수 있습니다.
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