판매용 중고 HERMES MICROVISION / HMI eScan 310 #9281449

HERMES MICROVISION/HMI eScan 310은 정확한 고속, 고해상도 웨이퍼 및 마스크 이미징을 제공하도록 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 사진 마스크, 레티클, 마이크로 일렉트로닉 이산 부품 및 MEMS 장치의 제작에 대한 3D 도량형, 결함 감지 및 모니터링을 위해 특별히 설계되었습니다. HMI eScan 310은 고해상도 이미징 기능과 뛰어난 다용도 기능을 갖춘 첨단 현미경 기술을 갖추고 있습니다. 독보적인 Optic 및 지능형 이미징 소프트웨어는 3D 이미지를 고해상도와 저소음으로 제작하도록 설계되었습니다. 최대 5nm (최대 5nm) 의 중요 해상도를 달성하여 복잡한 형상과 고밀도 패턴을 포괄적으로 볼 수 있습니다. 이 시스템에는 고급 빔 컨트롤 (beam control) 과 초현실적 이미지 시퀀스 (ultra-realistic image sequence) 가 장착되어 표면의 전체 3D 이미징과 세부 사항이 가능합니다. 고속 데이터 획득 및 이미지 처리 속도 향상 (Accelerated Image Processing) 기능을 통해 쉽고 정확한 이미지 분석을 수행할 수 있습니다. 또한 HERMES MICROVISION eScan 310에는 광대역 장치, 기본적으로 통합된 CAD 도구, 직관적인 3D 뷰어 및 검사 프로세스를 단순화하는 완전한 자동화 기능이 있습니다. 이중 카메라 검사는 단일 카메라 머신 (single camera machine) 과 결합하여 전체 필드 검사를 수행할 수 있으며, 가장 작은 기능에서도 전체 커버리지 캡처가 가능합니다. 이 도구는 또한 다른 재료, 마모 레벨, 광도 균일성, 서브 픽셀 해상도 변형 및 기타 기판 매개변수에서 결함을 찾는 고급 알고리즘을 제공합니다. 또한 sinc-radial, coplanar 및 hexagonal 디자인을 포함한 다양한 마스크 형식을 지원합니다. 또한 eScan 310은 사용자가 결과를 보고, 비교하고, 분석하고, 보고할 수 있도록 대화식 사용자 인터페이스를 제공합니다. 또한 시간이 지남에 따라 비교할 수있는 여러 데이터 세트를 제공하여 결함 감지 (defect detection) 의 정확성을 보장합니다. 전반적으로 HERMES MICROVISION/HMI eScan 310은 고속, 고해상도 이미징을 제공 할 수있는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 다양한 자료에서 결함을 감지할 수 있으며, 기본적으로 통합된 CAD 도구, 자동 데이터 수집, 고급 알고리즘, 직관적인 3D 뷰어 등 강력한 기능을 갖추고 있습니다. 더욱이, 이 모델은 포괄적인 기능을 제공하여 사용자가 보다 쉽고 빠르게 검사할 수 있도록 합니다 (영문).