판매용 중고 HERMES MICROVISION / HMI eScan 310 #9263049

HERMES MICROVISION / HMI eScan 310
ID: 9263049
웨이퍼 크기: 12"
E-Beam defect inspection system, 12".
HERMES MICROVISION/HMI eScan 310은 다양한 검사 및 장애 분석 어플리케이션에서 뛰어난 화질을 제공하는 고성능 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 마이크로 리토 그래피 (micrelithography) 기술을 사용하여 균일성과 정확성을 향상시킵니다. HMI eScan 310에는 고해상도 카메라, 광학 부품, 다국적 조명기 (Multi-Regional Illuminator) 를 사용하여 복잡한 구조를 정확하게 이미징할 수 있는 고급 광 장치가 장착되어 있습니다. 이 광학 기계 는 "알루미늄 ', 유리," 플라스틱' 및 유기 기판 을 포함 하여 매우 다양 한 "마스크 '와" 웨이퍼' 재료 를 검사 하도록 설계 되었다. 이 도구는 최대 20,000 배율의 이미지를 캡처할 수 있으며, 사용이 간편한 컴퓨터 인터페이스 (Computer Interface) 를 통해 이미징 응용 프로그램을 신속하게 구성하고 설정할 수 있습니다. 또한 에셋은 이미지 처리 및 분석을위한 도구 (예: 적응 임계값, 막대 그래프 이퀄라이제이션, 색상 변환, 이미지 스티칭, 패턴 인식) 를 제공합니다. 품질 보증을 위해 HERMES MICROVISION eScan 310을 사용하여 스크래치, 보이드, 스크래치, 워 페이지, 디어 미네이션 및 기타 결함과 같은 마스크 및 웨이퍼 표면의 결함을 감지 할 수도 있습니다. 이 모델은 패턴 민감하고 복잡한 결함을 찾는 데 특히 유용하며, 이는 종종 전통적인 광학 검사 (optical inspection) 기술을 사용하여 감지하기가 어렵습니다. 또한 EScan 310 은 안전하고 신뢰할 수 있는 다양한 안전 (Safety) 기능으로 설계되었습니다. 정보보호시스템 (Intelligent Safety System) 은 검사 작업 중 이상이 발견되면 장치를 자동으로 종료한다. 이 기계 는 또한 "레이저 '안전 도구 를 갖추고 있는데, 이것 은" 레이저' 가 비상 사태 가 발생 할 때 차단 되는 원인 이 될 것 이다. 전반적으로 HERMES MICROVISION/HMI eScan 310은 뛰어난 이미지 품질과 안정적인 성능을 제공하는 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 첨단 광 모델 (Optical Model) 과 이미지 처리 도구 (Image Processing Tools) 를 통해 다양한 검사 및 장애 분석 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 됩니다.
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