판매용 중고 HANMI 3D Vision #9256297
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HANMI 3D Vision은 초고속 작동, 정확성, 샘플 스캐닝 및 측정을 촉진하면서 리소그래피 및 검사와 같은 프로세스의 신뢰성 및 정확성을 향상시키기 위해 설계된 고급 2D/3D 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 고급 시스템은 최대 1 미크론 정확도로 다양한 마스크 및 웨이퍼 모양 (예: 사각형, 원, 호) 을 측정하도록 설계되었습니다. 고급 알고리즘은 마스크의 객체를 정확하게 식별, 분류, 분석하여 HANMI 가 패턴 또는 결함을 정확하게 검사 할 수 있습니다. 이 장치는 또한 다양한 재료의 패턴 (pattern) 을 분석할 수 있도록 설계되었으며, 따라서 검사 기준을 손쉽게 조정할 수 있습니다. 밝고 어두운 광원을 사용하는 기계는 단일 칩에서 최대 4k 다이 영역을 평가할 수 있으며, 노출 된 리소그래피 마스크 (lithography mask) 의 웨이퍼 레벨 이미지를 취하고 오버레이, 패턴, 라인 및 결함 웨이퍼를 분석하여 사용자가 결함을 감지 할 수 있습니다. 한미 (HANMI) 자외선 광원은 또한 이전에 감지하기에는 너무 작은 하위 회절 제한 결함을 식별 할 수있는 잠재력을 가지고 있습니다. 이 도구의 이미징 기능은 25 미크론, 200K 픽셀 이상의 이미지를 캡처할 수 있으며, 사용자가 검사할 수 있는 광범위한 진단 데이터를 제공합니다. 또한, 소음 수준이 낮은 대형 이미지 데이터를 캡처하고 저장하는 정교한 CCD (charge coupled device) 이미징 장치는 검사 프로세스를 더욱 빠르고 정확하게 만듭니다. 자산의 자동 검사 기능에는 패턴 인식, 패턴 일치, 웨이퍼 검사, 결함 열거, 선/높이 측정 및 위상 상관 관계가 포함됩니다. 또한 pass/fail 통계, 결함 분포 및 마스크 정확도를 포함하는 보고서를 생성하여 사용자가 검사 결과를 정확하게 분석 할 수 있습니다. 효능을 더욱 높이기 위해 HANMI는 3D Vision 측정, 결함 감지, 패턴 분석을 결합하여 사용자가 마스크와 웨이퍼 레이아웃을 동시에 식별하고 분석 할 수 있도록 합니다. 이 뿐만 아니라, 이 모델에는 확대/축소 기능이 내장되어 있어 작은 객체를 정확하게 측정할 수 있습니다. 무엇보다도, HANMI 3D Vision 장비는 마스크 및 웨이퍼 검사의 시간과 비용을 대폭 절감하는 동시에, 정확성과 신뢰성을 높일 수 있습니다. 현재 사용 가능한 가장 정교하고 강력한 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나입니다.
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