판매용 중고 FUJI Fujinon R10 #9157658

FUJI Fujinon R10
ID: 9157658
Interferometer.
후지 후지논 R10 (FUJI Fujinon R10) 은 마스크 및 웨이퍼의 생산 검사의 고성능 요구 사항을 충족하도록 특별히 설계된 완전 자동화 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 독점 CCD 센서, 고급 옵티컬 시스템, Direct Drive Scanning Stage를 결합하여 다양한 기능을 신속하게 검사합니다. Fujinon R10의 주요 하드웨어 구성 요소에는 옵티컬 헤드, 직접 드라이브 스캔 단계, ccd 카메라, 이미지 처리 보드 및 소프트웨어 컨트롤러가 포함됩니다. 광학 헤드에는 두 가지 유형의 광학 (스테레오 현미경과 원격 중심 렌즈) 이 포함되어 있어 마스크/웨이퍼 (mask/wafer) 의 여러 영역을 동시에 검사하고 가장자리 결함 및 기타 불규칙성을 정확하게 찾을 수 있습니다. Direct Drive 스캐닝 단계는 빠르고 정확한 포지셔닝 기능을 제공하여 고속 스캐닝 시간을 단축합니다. CCD 카메라는 고해상도 이미징 (high resolution imaging) 을 제공하여 기계가 전통적인 검사 기술로 누락되는 작은 결함을 감지 할 수 있습니다. 이미지 처리 보드 (Image Processing Board) 는 여러 영역을 동시에 검사하며, 소프트웨어 컨트롤러는 최적의 성능을 위해 설정을 구성하는 데 사용됩니다. FUJI Fujinon R10의 주요 검사 기능은 다음과 같습니다. 미량 결함과 같은 작은 기능 감지 및 측정; 패턴 인식 알고리즘을 사용하여 기능 인식; 가장자리 결함 찾기; 컴퓨터 모니터에서 검사된 기능을 시각화합니다. 이미지를 분석합니다. 이 툴에는 강력한 포스트 프로세싱 (post-processing) 제품군도 포함되어 있으므로 이미지의 결함 및 기타 불규칙성을 빠르고, 쉽게 파악하고, 표시 할 수 있습니다. Fujinon R10은 마스크 및 웨이퍼의 생산 검사에 이상적인 솔루션입니다. 고급 옵틱 (Optic), 고속 스캐닝 속도 (Fast Scanning Speed), 고해상도 이미징 (High Resolution Imaging) 을 조합하여 뛰어난 정확도로 작은 기능을 안정적으로 감지하고 식별할 수 있습니다. 또한, 후처리 소프트웨어를 사용하면 이미지를 빠르고 효율적으로 평가하고 결함을 효율적으로 분석할 수 있습니다. FUJI Fujinon R10은 마스크 및 웨이퍼의 생산 검사를 위한 비용 효율적이고 고성능 솔루션을 제공합니다.
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