판매용 중고 ESTEK / ADE AWIS #9037134

에스텍/아데 아위스 (ESTEK/ADE AWIS) 는 웨이퍼 및 마스크 제조업체의 생산 효율성과 정확성을 극대화하기 위해 설계된 종합적인 자동 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다. 이 시스템은 자동화된 검사/결함 분석 (Automated Inspection and Defect Analysis) 기능을 통해 효율적이고 경제적인 솔루션을 제공합니다. ADE AWIS는 강력한 옵티컬/이미징 기능과 고급 프로세스 컨트롤을 통합한 정밀 장치 (precision instrument unit) 입니다. 최대 8 "웨이퍼 직경의 8" 웨이퍼 스테이지와 최대 254mm X 355mm 마스크의 마스크 스테이지를 사용합니다. 광학에는 현미경 디지털 줌 기능과 UV, 백라이트, 광학 필터, 특화된 다크 필드 및 다크 에지 기술 등 다양한 유형의 조명이 포함됩니다. 검사 기계는 고급 이미징 (advanced imaging) 과 비교 (comparing) 기술을 사용하여 단일 이미지 또는 베어 (bare) 또는 마스크 (masked) 실리콘 웨이퍼의 여러 이미지에서 결함을 식별하고 분류합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 실시간 모니터링을 포함한 완전 자동화된 결함 검토 (Fully Automated Defect Review) 프로세스를 사용할 수 있으며, 결함당 최대 8개의 이미지를 저장할 수 있습니다. 이 툴은 고도의 사용자 정의 (customization) 기능을 제공하여 맞춤형 프로그램을 통해 특정 고객 요구를 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 자산은 웨이퍼 구조를 분석하고 필름을 0.3 - 0.4 미크론 크기로 마스크 할 수 있습니다. 검사 할 수있는 전형적인 결함에는 치핑, 긁힘, 이물질, 고무 입자, 스파이킹 결함, 입자 클러스터 및 저항 잔기가 포함됩니다. 이 모델에는 저항 패턴 (resist pattern) 의 간격을 감지하고 측정하기 위해 Boson 통합 레이저도 포함되어 있습니다. 이 장비에는 대비 제어 (Contrast Control), 자동 초점 (Auto-focus), 밝기 제어 (Brightness Control), 색상 반전 (Color Inversion) 및 다양한 색상 교정 기능과 같은 기본 이미지 진단 기능이 장착되어 있습니다. 또한 결함을 분류하기 위한 자동 히스토그램 생성기 (automatic histogram generator) 와 결함 데이터를 보다 잘 평가하기 위한 포괄적인 결함 분류표 (comprehensive defect classification table) 도 있습니다. 전반적으로, ESTEK AWIS는 탁월한 검사 기능, 정확성 및 속도를 제공하는 정교한 디지털 웨이퍼 및 마스크 검사 시스템입니다. 강력한 기능, 사용 편의성 덕분에 결함을 줄이고 수익률을 극대화해야 하는 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 (mask) 제조업체에게 필수적인 도구입니다.