판매용 중고 ESI / MICROVISION MVT 7080 #9187367

ID: 9187367
Wafer inspection station, 6".
ESI/MICROVISION MVT 7080 Mask & Wafer Inspection Equipment는 마스크 및 웨이퍼를 안정적이고 정확하게 검사하도록 설계된 정교한 이미징 및 분석 시스템입니다. 고급 광학 이미징 기술 (Optical Imaging Technology) 과 고급 이미지 처리 알고리즘을 결합하여 마스크 및 웨이퍼 표면의 잠재적 결함 위치를 식별합니다. ESI MVT 7080은 정밀 간섭계, 반음계 수차 교정기 및 고밀도 이미징을위한 10x/0.4 오브젝티브 렌즈로 구성된 광학 측정 단위를 특징으로합니다. 수차 교정기 (aberration corrector) 는 대형 기판을 사용하거나 객관을 완벽하게 정렬할 수 없는 경우에도 정확한 스캐닝 (scanning) 및 이미지 처리 기능을 유지합니다. 통합형 3 축 스테이지는 오브젝티브 렌즈와 샘플을 움직이는 기능을 제공하여 다양한 크기의 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 를 검사할 수 있습니다. MICROVISION MVT 7080의 이미징 머신은 고해상도 CCD 라인 스캔 카메라를 사용하여 이미지를 캡처 및 저장합니다. CCD 카메라는 2048 픽셀 x 656 라인 해상도를 가지며 최대 128,000 픽셀 (pixel) 의 데이터를 저장할 수 있습니다. 이미징 툴이 캡처한 데이터의 통합 및 분석은 임베디드 (Embedded) 처리 장치를 통해 이루어집니다. 이 장치에는 결함 감지, 검사, 판단, 기타 패턴 처리 작업 알고리즘이 있습니다. 선 너비, 개방/단축, 누락 및 반사율의 네 가지 범주에서 결함을 분류 할 수 있습니다. 또한 MVT 7080 은 사용자에게 친숙한 제어 자산 (control asset) 을 제공하여 모든 작업 측면에서 직관적인 인터페이스를 제공합니다. 여기에는 모델 함수, 데이터 입력, 디스플레이 조정, 매개변수 설정 및 검사 결과가 포함됩니다. 통계 분석 및 그래프 기능을 포함한 광범위한 추가 기능이 ESI/MICROVISION MVT 7080 기능을 더욱 보완합니다. 요약하자면, ESI MVT 7080은 사용이 쉽고, 안정적이며, 정확한 검사 장비로, 사용자에게 포괄적인 이미지 처리 및 분석 기능을 제공합니다. 고급 옵틱 (Optic), 이미징 (Imaging) 및 처리 기능의 조합으로 마스크 및 웨이퍼 표면의 잠재적 결함을 일관되고 정확하게 식별 할 수 있습니다.
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