판매용 중고 ESI / MICROVISION MVT 7080 #293626852

ID: 293626852
Wafer inspection station.
ESI/MICROVISION MVT 7080은 반도체 산업을 위해 설계된 최고 수준의 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 150나노미터 (150nanometer) 의 작은 크기의 정확한 고해상도 이미징을 제공하며, 수작업 검사, 검토, 자동 문제 감지를 위한 고품질 이미지와 정확한 측정값을 모두 제공합니다. ESI MVT 7080은 정교한 최첨단 알고리즘으로 구동되며, 선과 원 (circle) 과 같은 다양한 크기와 모양의 선명한 이미지를 캡처할 수 있습니다. 이미지는 신뢰할 수 있는 정량적 정보를 생성하는 고정밀도 추정기와 검사기를 사용하여 처리됩니다. 그런 다음, 이 정보를 사용하여 처리 오류를 감지하고, 회로에 피쳐의 배치를 확인할 수 있습니다. 이 장치에는 MIM (Mask Inspection Module) 과 WIM (Wafer Inspection Module) 의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. MIM 은 마스크 검사 를 최대 0.6 "미터 '의 해상도 와 최대 32" 밀리미터' 의 깊이 로 수행 한다. 고급 CCD 디지털 이미징 (CCD Digital Imaging) 및 특허 알고리즘을 사용하면 복잡한 마스크 레이아웃에서도 머신이 이미징 결함을 식별하고 정량화할 수 있습니다. WIM은 최대 웨이퍼 크기 (최대 200mm) 에서 정확한 검사를 할 수 있습니다. WIM은 최신 ADDI (Automatic Defect Detector for Wafer Inspection) 를 사용하여 30 나노미터 미만의 측정 정밀도로 표면 결함, 패턴 결함 및 필름 결함을 감지하고 측정 할 수 있습니다. 고도로 자동화된 이 도구는 결함 분류 (Defect Classification) 및 결함 크기 조정 (Defect Resizing) 을 위한 고급 알고리즘을 추가로 제공하여 품질 관리 기능을 보다 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다. 마지막으로, 이 자산은 모듈성이 뛰어나고 확장성이 뛰어나 복잡한 멀티 스테이지 (multi-stage) 검사를 쉽게 수행할 수 있습니다. 선택적 기판 스테이지 또는 대형 나노 프로브 스테이션을 추가하여 MICROVISION MVT 7080을 사용하여 대형 기판, 심지어 나노 스케일 구조를 포함한 다양한 재료를 검사 할 수 있습니다. MVT 7080은 안정적이고 정확한 마스크/웨이퍼 검사 모델을 원하는 반도체 전문가에게 적합한 선택입니다. 이 장비는 매우 높은 해상도의 이미징, 효율적인 데이터 처리, 자동화된 결함 감지, 고급 결함 분류 (Advanced Defect Classification) 기능을 제공하여 품질 관리 전문가가 제조 문제를 빠르고 정확하게 감지하고 해결할 수 있습니다.
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