판매용 중고 ESI / MICROVISION MVT 7080 #138389
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ID: 138389
웨이퍼 크기: 3"-8"
빈티지: 1996
Wafer sorter, 8"
3" to 8" wafer capability
MVT MC70 controller
MVT 5080 robot
3-axis robotic handler robot with integrated laser mapping system for sorting, splitting or randomizing wafer lots
Integrated wafer ID reader with advanced illumination system for accurate and repeatable optical character recognition
Over 300 wafers/hour in sort mode
Recipe or manual control
110V AC 60Hz power plus vacuum are required
Missing ID reader, pre-aligner, second control computer, and controller
1996 vintage.
ESI/MICROVISION MVT 7080은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 마스크 및 웨이퍼 결함 테스트를 위해 특별히 설계되었습니다. 가장 정확하고 신뢰성 있는 결함 감지 (defect detection) 를 지원하는 다양한 기능이 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 물리적, 광학, 화학적, 전기적 결함을 감지할 수 있는 고해상도 이미징이 장착되어 있습니다. 또한 비가시 결함을 감지 할 수있는 특허 회로 결함 감지 (Patented circuitry defect detection) 프로세스가 장착되어 있습니다. 이 장치에는 마스크 및 웨이퍼 검사를 위해 특별히 설계된 다양한 시스템이 있습니다. 광학 (optical) 과 비광학 (non-optical) 현미경을 모두 제공하여 매우 고품질 이미지로 결함을 볼 수 있습니다. ESI MVT 7080에는 통합 결함 현지화 및 3D 재구성 기계도 장착되어 있습니다. 이 도구는 웨이퍼 (wafer) 나 마스크 (mask) 의 결함 탐지에서 높은 정확도를 제공하며 결함 영역의 구조를 재구성합니다. 이 자산은 또한 다양한 결함 특성의 분석 및 검출을위한 멀티 센서 (multi-sensor) 기술을 갖추고 있습니다. 광학 및 전자 빔 센서를 사용하여 다른 방법으로 보이지 않는 결함을 감지합니다. 또한, 모델은 높은 처리량 이중 볼륨/피팅 측정 및 추적 가능한 속성을 갖추고 있습니다. MICROVISION MVT 7080에는 강력한 결함 분류 및 분석 소프트웨어 도구가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 광범위한 결함을 정확하게 파악하고 분류하도록 설계되었습니다. 이렇게 하면 테스트 프로세스가 이전 어느 때보다 빠르고, 정확한지 확인할 수 있습니다. 마지막으로, 장비는 고급 자동화 기능을 갖추고 있습니다. 결함 검사 및 분석을 위해 완전한 자동화 및 반자동 프로세스를 제공합니다. 이렇게 하면 프로세스가 단순화되고, 테스트 프로세스에 필요한 시간과 비용을 절감할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, MVT 7080 (MVT 7080) 은 첨단 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 가장 정확하고 안정적인 결함 탐지를 지원하는 많은 첨단 기술과 기술을 제공합니다. "마스크 '와" 웨이퍼' 에 여러 가지 여러 가지 결함 을 시험 해 볼 필요 가 있는 사람 에게 이상적 인 단위 이다.
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