판매용 중고 ESI / MICROVISION MVT 1080 #9120947
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ESI/MICROVISION MVT 1080은 멀티 카메라 검사를 사용하여 고품질 웨이퍼 및 마스크를 보장하는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 석판 마스크, opticalthinfilm 마스크, 유전체 웨이브 가이드 마스크, 다중 레이어 미러, 유전체 필터 등 모든 유형의 마스크를 검사 할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 실리콘, GaAs, III-V와 같은 다양한 유형의 웨이퍼를 검사 할 수 있습니다. ESI MVT 1080은 특허를 획득한 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer processing) 방식을 사용하여 마스크와 웨이퍼 모두를 신속하고 자동화합니다. 이 장치는 25x 및 50x 오브젝티브 렌즈 (objective lenses) 와 같은 다양한 옵틱을 갖춘 멀티 카메라 검사와 뛰어난 저소음 이미징을 제공하는 사용자 정의 픽셀을 갖춘 검출기 (detector) 어레이를 갖추고 있습니다. 또한, 기계는 업계 표준 알고리즘의 조합을 사용하여 실시간으로 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 도구는 정확하고 정확한 검사를 위해 여러 조명 소스 (lumination source) 를 활용하여 최고의 명암과 해상도를 제공합니다. 또한 매장 된 결함, 핀홀, 처리 마크, 표면 불규칙, 오염 등 다양한 유형의 결함을 탐지 할 수 있습니다. 에셋은 재료, 결함 유형, 로트 크기에 대한 검사 매개변수를 조정하도록 사용자가 구성할 수 있습니다. MICROVISION MVT 1080에는 데이터 분석 및 관리가 용이한 포괄적인 소프트웨어 패키지도 있습니다. 소프트웨어는 결함 검사 보고서, 결함 유형 추적용 데이터베이스, 웨이퍼 검사 기록 추적용 데이터베이스, 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (GUI) 를 작성할 수 있습니다. 요약하면, MVT 1080은 멀티 카메라 검사, 다양한 조명 소스, 종합 소프트웨어를 갖춘 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 모델입니다. 고품질 웨이퍼 (Wafer) 와 마스크 (Mask) 를 위한 이상적인 솔루션이다.
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