판매용 중고 ESI / MICROVISION MV 853 #9104086

ESI/MICROVISION MV 853 마스크 및 웨이퍼 검사 장비는 광 마스크 및 웨이퍼를 매우 정확하게 측정하기위한 가속기 기반, 종합 검사 및 도량형 도구입니다. 이 시스템은 ESI MV 제품군의 주요 성능과 뛰어난 입자 역학 (Particle Dynamics) 을 결합한 반도체 산업의 정교한 마스크 & 웨이퍼 검사 시스템 (Mask & Wafer Inspection System) 요구 사항에 대한 완벽한 솔루션을 제공합니다. ESI MV 853 (ESI MV 853) 은 전례 없는 속도와 정확도로 다양한 마스크 및 웨이퍼 형상을 검사하고 측정 할 수있는 완전 자동화 장치 (Full Automated Unit) 입니다. 현재 사용 가능한 최고 해상도의 이미징을 제공하며 LQV (Layout Comparison), OVM (Overlay Measurement), 스펙트럼 반사도 및 WMD (Wavelength Dependent Measurement) 와 같은 몇 가지 정확한 측정 도구, 신뢰할 수있는 결함 차단 (Macm Dection Dection) 및 신뢰할 수있는 결함 차단 (Macection) 이 있습니다. 이 기계의 독보적인 고출력 데이터 획득 (High Throughput) 기술은 최첨단 가속기 및 미러 (Mirror) 를 활용하여 뛰어난 속도와 처리량을 제공합니다. 최대 60dB의 동적 범위를 제공하며 DIWNAE (Deep Isolated Wide Noise and Edge Effect) 모드에서 피쳐 크기를 5.1nm까지 측정합니다. 또한, 증강 된 신호 기능을 통해 도구는 결함과 불량 (non-defect) 을 더 잘 구별하고 측정 정확도와 감지 정확도를 높일 수 있습니다. MICROVISION MV 853의 다른 기능으로는 Auto Focus, Pattern Shooting, Field of View Finder, Intermediate Focus, Dynamic Focus 및 Resolution Range Extender가 있습니다. 자동 초점 (Auto Focus) 기능은 자동으로 웨이퍼/마스크 깊이에 따라 최적의 초점 설정으로 안내합니다. 패턴 슈팅 (Pattern Shooting) 기능은 미리 정의된 패턴이나 마스크에 대한 관심 영역의 이미지를 캡처합니다. FOVF (Field of View Finder) 를 사용하면 다양한 방향과 확대율로 여러 이미지를 얻을 수 있습니다. 중간 초점 (Intermediate Focus) 기능은 전체 웨이퍼를 빠르게 스캔하여 최적의 초점 설정을 찾습니다. 동적 초점 (Dynamic Focus) 을 사용하여 관심 영역 또는 영역에 대한 최적의 초점 설정을 빠르게 찾을 수 있습니다. 마지막으로, Resolution Range Extender는 사용자가 회절 제한 광학으로 불가능한 사소한 기능을 측정 할 수 있도록 허용합니다. MV 853 (MV 853) 은 광범위한 마스크 및 웨이퍼 검사 자산으로, 다양한 마스크 또는 웨이퍼 형상을 위한 최적의 처리량과 정확성으로 매우 정밀한 측정값을 제공합니다. 이 모델은 동급 최고의 이미징 해상도, 다이내믹 레인지 (dynamic range), 향상된 신호 기능 (enhanced signal capability) 및 여러 가지 정밀한 도량형 도구를 제공하여 가장 복잡한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비 요구 사항을 충족합니다.