판매용 중고 ELICON EMA 3540 #106694

ELICON EMA 3540은 반도체 장치 생산을위한 완전 자동화 된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 생산 중 IC 마스크 및 웨이퍼에 대한 빠르고 정확한 결함을 감지하도록 설계되었습니다. 이 장치는 고급 옵틱 시스템 (Optics System) 과 고해상도 이미징 기능을 활용하여 광범위한 결함을 성공적으로 감지하고 표시합니다. EMA 3540은 기본적으로 OSA (Optical Substrate Analyzer) 와 SES (Software Evaluation Machine) 로 구성됩니다. OSA는 가열되고, 검사를 위해 웨이퍼 (wafer) 나 마스크를 평평하게하고, 보호판으로 기판을 덮은 다음, 저강도의 레이저 빔 (laser beam) 의 빛을 기판에 지시합니다. "레이저 '광선 이 기판 에서 반사 됨 에 따라, 그것 은 OMA 의 고급 광학" 시스템' 에 의해 감시 된다. OMA는 입자, 핀 홀 (pin-holes), 입자 클러스터 (particle cluster) 및 전통적인 방법으로 감지하기가 더 어려운 다른 여러 가지 결함을 감지 할 수 있습니다. OMA가 결함을 식별하면 해당 결함이 처리되어 SES에 표시됩니다. 이 통합 소프트웨어는 사용자가 데이터를 빠르고 정확하게 해석하도록 돕기 위해 설계되었습니다. SES 소프트웨어는 검사된 기판에 대한 관심 영역을 빠르고, 정확하게 파악하고, 결함을 분류하고, 사용자에 대한 검사 보고서를 작성할 수 있습니다. 또한, 필요한 경우 마스크나 웨이퍼를 수정할 수 있습니다 (필요한 경우). ELICON EMA 3540은 또한 사용자 정의가 가능하며, 다양한 검사 요구 사항을 수용할 수 있습니다. 예를 들어, OMA 는 여러 기판을 동시에 검사하는 데 사용될 수 있으며, SES 는 많은 수의 기판에 대한 정보를 분석, 표시할 수 있습니다. 또한, 사용자는 특정한 검사 요구사항에 맞게 도구를 사용자 정의할 수 있으며, 높은 정밀도, 안정성 (신뢰성) 의 웨이퍼 (wafer) 를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다. EMA 3540 은 운영 최적화 (Optimize), 완제품 품질 향상을 모색하는 제조업체에 이상적인 솔루션입니다. 고급 옵틱 시스템, 고해상도 이미징 기능, 사용자 지정 옵션으로 무장한 ELICON EMA 3540은 빠르고 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 기능을 제공하며, 제조업체의 결함을 줄이고 전반적인 프로세스 효율성을 향상시킬 수 있습니다.