판매용 중고 ECOPIA HMS-5000 #9248771

ECOPIA HMS-5000 (ECOPIA HMS-5000) 은 고품질 장치 제작을 위해 마스크와 웨이퍼의 높은 정확도를 측정하도록 설계된 차세대 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 광시야각 (wide-field) 양안경 장치, 레이저/광학 센서, 측정 및 검사 작업을 최고 수준의 정확도로 수행하는 최신 멀티 센서 검사 기술을 갖추고 있습니다. 쌍안시계 "렌즈 '는 두 개 의 객관적" 렌즈' 로 구성 되어 있으며, 그 "렌즈 '는 표본 기판 의 넓고 넓은 영역 을 덮고 있다. 레이저 센서는 8 축 주사 헤드에서 빛을 방출하고, 반사 된 빛은 구조 스테이션에 장착 된 4 개의 광 센서로 감지됩니다. 이를 통해 기판 표면에서 발생하는 모든 왜곡 및 불규칙성을 감지 할 수 있습니다. "레이저 '/광학" 센서 '는 기판의 모든 결함의 모양과 크기를 높은 정확도로 측정하고, 다중 "센서' 검사 기술은 기판의 물리적" 파라미터 '에 대한 보다 정밀한 분석을 통해 감지 도구를 더욱 향상시킨다. 고급 광학 측정 에셋은 불투명, 불투명 마스크, 웨이퍼 등 다양한 샘플을 측정할 수 있습니다. 서피스 불완전성 (surface imperfections) 을 감지할 수뿐만 아니라 선의 너비와 두께, 패턴의 모서리 위치, 결함의 면적 및 모양, 백그라인딩 웨이퍼의 서피스 균일성을 측정 할 수도 있습니다. 이를 통해 최고 품질의 디바이스 구성 프로세스를 보장할 수 있습니다. 자동 검사 모델을 사용하면 여러 기판의 검사 데이터를 사용자 친화적 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface, GUI) 에 저장하고 리콜할 수도 있습니다. 이것은 많은 양의 샘플을 분석 할 때 특히 유용합니다. 또한, 사용자는 패턴 일치 (pattern matching) 에 대해 서로 다른 검사 데이터 세트를 쉽게 비교할 수 있으며, 다양한 응용 프로그램에 대해 사용자정의 매개변수를 설정할 수도 있습니다. 이러한 기능은 HMS-5000을 강력하면서도 다양한 검사 장비로 만듭니다. 요약하면, ECOPIA HMS-5000은 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템으로, 고품질 장치 제조에 대한 높은 정확도를 측정할 수 있습니다. 멀티 센서 검사 기술, 와이드 필드 양안 시력 장치, 레이저/광학 센서 (optical sensor) 는 다양한 기판에서 표면 결함을 감지하는 이상적인 기계입니다. 또한, 직관적인 GUI 및 맞춤형 기능을 통해 자동화된 검사를 위한 강력하고 다양한 툴이 됩니다.