판매용 중고 ECOPIA HMS-3000 #9257299

ECOPIA HMS-3000은 Canon이 개발 한 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 다양한 기판, 형식, 아키텍처로 마스크, 웨이퍼를 검사할 수 있는, 매우 정밀하고 자동화된 이미지 기반 전동 검사 시스템 (Motorized Inspection System) 을 갖추고 있습니다. HMS-3000 은 최적의 이미지 캡처용 CCD 디지털 카메라 (CCD Digital Camera) 와 멀티 축 (Multi-Axis) 로보티즈 (Robotized) 단계를 활용하여 각 이미지를 최고의 정확도와 품질로 가져갑니다. 이 단위는 고급 알고리즘의 조합을 사용하여 마스크와 웨이퍼의 레이아웃, 패턴, 모양, 정렬, 재료 구성 등의 결함을 검사합니다. ECOPIA HMS-3000은 고해상도 2D 이미지와 3D 데이터를 모두 분석할 수 있습니다. 투명 마스크, 단일 레이어 기판 및 다중 레이어 스택을 검사 할 수 있습니다. 설계 오류나 처리 오류로 인한 설계 결함 (예: 설계 결함) 을 검사하는 데 적합합니다. 기계 는 또한 "마스크 '와" 웨이퍼' 가 정확 한 사양 으로 만들어지도록 재료 구성 의 미묘한 차이 를 감지 할 수 있다. 이 도구는 광범위한 검사 패턴 및 템플릿 라이브러리도 지원합니다. 이를 통해 표준 설계 (Standard Design) 와 맞춤형 설계 (Custom Design) 를 모두 분석할 수 있으며, 다양한 프로세스의 요구에 맞게 쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 HMS-3000 은 고급 비디오 프로세싱을 통해 다양한 유형의 마스크와 웨이퍼를 빠르고 정확하게 검사할 수 있습니다 (영문). 또한 향상된 이미지 분석 기능 (Enhanced image analysis capability) 을 통해 마스크 또는 웨이퍼 기능을 보다 자세히 식별하고 측정할 수 있습니다. ECOPIA HMS-3000 (ECOPIA HMS-3000) 은 레이아웃 검사를 자동화하고 오류를 줄일 수 있는 자동 검사 자산을 찾는 기업에게 적합한 솔루션입니다. 고급 이미지 캡처 및 분석 기능을 갖춘 HMS-3000 은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 를 제작하는 모든 프로세스에 대해 정확하고 상세한 정보를 제공합니다. 이를 통해 제조업체는 최고 품질의 프로세스를 개발할 수 있지만, 여전히 효율적이고 비용 효과적입니다.