판매용 중고 DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini #127986

ID: 127986
Zoom interferometer Specifications: Bare fiber holder chuck with X/Y/Z and tilt micrometers Radius of curvature: Reproducibility: 1 sigma: 0.25% Repeatability: 1 sigma: 0.10% Apex offset: Reproducibility: 1 sigma: 2.0µm Repeatability: 1 sigma: 0.5µm Fiber height: Reproducibility: 1 sigma: 1.5 nm Repeatability: 1 sigma: 1.0 nm Radius of curvature: 3mm Flat Apex offset: 0-500µm (value calculated if outside of captured frame) Fiber height: ± 6µm (with extended range option) MICHELSON Interferometer (non-contact system) Measurement Speed: less than 1 second Magnification: X85 to X550 using 12" monitor X60 to X400 using a 15" XGA monitor and the digital zoom turned off Operating wavelengths: 665nm (545nm with extended range) Power requirements: 100 to 120V AC, 50 / 60Hz.
DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini는 반도체 제조에 적합한 정밀 광학 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 최첨단 기술로 제작된 이 시스템은 검사되는 마스크나 웨이퍼의 모양과 토폴로지 (Shape and Topology) 를 분석하여 정확도가 높은 측정을 제공하도록 설계되었습니다. 고감도 장치에는 최신 광학 기술 (Optical Technology) 이 통합되어 있어, 최고의 화질과 정확성을 보장하는 독보적이고 표류 가능한 조명기가 장착되어 있습니다. 투영된 선 패턴은 공구의 2 채널 라인 감지 (line-detection) 방법에 의해 해결되어 장치 프로파일의 매우 정확한 측정이 가능합니다. 저소음 이미징 (low-noise imaging) 과 디지털 에지 향상 (digital edge enhancement) 을 통해 에셋은 아티팩트 및 기타 결함을 쉽게 감지 할 수 있습니다. 광학 디자인의 관점에서 볼 때, 모델은 회전 가능한 플랫폼에 장착 된 듀얼 열 오브젝티브 렌즈 (Dual Column objective lens) 를 사용하여 광범위한 배율을 제공합니다. 두 열 렌즈의 조합을 통해 장비는 미세 구조의 장치 표면 (micro-structured device surface) 지형을 높은 정확도로 검사하고 낮은 명암의 결함을 감지하는 데 필요한 정밀도를 제공합니다. 또한, 시스템은 검사된 장치를 빠르고 정확하게 중앙에 배치하기 위해 듀얼 필드 이미징 (Dual Field Imaging) 정렬 방법을 사용합니다. ZX-1 미니 (ZX-1 Mini) 장치는 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되어 측정 용이성, 정확성 및 반복 가능성 측면에서 Vertex의 가장 신뢰할 수있는 기계입니다. 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 손쉽게 작동할 수 있고, 유연한 소프트웨어 패키지를 통해 자동화된 (automated) 작업 및 측정이 가능합니다. 이 도구는 크롬, 탄소, 석영, 스테인리스 스틸, 실버 등 다양한 마스크와 함께 사용할 수 있습니다. 또한, 자산은 실리콘 및 갈륨 비소를 포함한 여러 웨이퍼와 호환됩니다. 이 모델은 또한 컴팩트하고 가볍고, 휴대성이 높으며, 실험실 또는 회사 층에서 사용하기에 이상적입니다. 전반적으로 DIRECT OPTICAL ZX-1 Mini는 신뢰할 수있는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 뛰어난 정확도, 민감도 및 반복성을 제공합니다. 고성능 광학 (Optic) 과 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 는 반도체 산업에 귀중한 도구입니다.
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