판매용 중고 DIRECT OPTICAL ZX-1 Micro #127989
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ID: 127989
Mini Zoom Interferometer
Includes:
Computer DORC
Radius of Curvature:
Reproducibility - One Sigma: 0.25%
Repeatability - One Sigma: 0.10%
Apex Offset:
Reproducibility - One Sigma: 2.0µm
Repeatability - One Sigma: 0.5µm
Fiber Height:
Reproducibility - One Sigma: 1.5 nm
Repeatability - One Sigma: 1.0 nm
Radius of Curvature: 3mm Flat
Apex Offset:
0-500µm (value calculated if outside of captured frame)
Fiber Height: ± 6µm (with extended range option)
MICHELSON Interferometer (non-contact system)
Measurement Speed: Less than 1 second
Magnification:
X85 to X550 Using 12" monitor
X60 to X400 Using a 15" XGA monitor and the digital zoom turned off
Operating Wavelengths: 665 nm
Power Requirements: 100 to 120V AC, 50 / 60Hz.
DIRECT OPTICAL ZX-1 Micro는 고정밀 3D 표면 정확도와 빠른 이미지 분석을 제공하기 위해 설계된 고급 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 디지털 광학 플랫폼 (digital optics platform) 을 사용하여 미세한 결함 및 이미지 처리 알고리즘을 감지하여 분리하고 분석합니다. 코어에서 ZX-1 Micro는 고속 가속 이미징 장치에 의해 구동됩니다. 이 기술은 고급 고주파 포물선 광학 렌즈를 사용하여 기존 광학보다 빠른 속도로 이미지를 캡처하고 투사합니다. 그 결과, 기계 는 "마스크 '와" 웨이퍼' 의 구조 와 표면 을 포괄적 으로 이해 할 수 있게 해 주는 고해상도 "이미지 '를 고도 로 생성 한다. 다이렉트 옵티컬 ZX-1 마이크로 (DIRECT OPTICAL ZX-1 Micro) 는 또한 마스크 및 웨이퍼 표면의 결함을 정확하게 감지하고 분리하도록 설계된 강력한 이미지 처리 알고리즘의 이점을 제공합니다. 입자 분석 (particle analysis) 및 공정 제어 방법 (process control method) 과 같은 다양한 알고리즘이 혼합되어 전체 웨이퍼 또는 마스크 샘플에서 작은 결함을 구별합니다. 또한, 이 도구는 실시간 멀티플렉싱을 지원하여 여러 구조를 동시에 신속하게 처리 할 수 있습니다. ZX-1 Micro는 실용적이고 인체 공학적 인 디자인도 갖추고 있습니다. 사용자에게 친숙한 컨트롤, 유연한 마운팅 기능, 모듈식 구성 요소 등을 통해 자산을 쉽고 간편하게 사용할 수 있습니다. 또한 소프트웨어 패키지 (software package) 는 고객이 원하는 대로 유연하고 맞춤형으로 구성할 수 있도록 최적화되어 있으며, 사용자는 해당 모델을 애플리케이션이나 프로세스에 맞게 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 DIRECT OPTICAL ZX-1 Micro는 정밀도, 효율성 및 유연성을 제공하는 정교한 검사 장비입니다. 마스크 및 웨이퍼에 미세한 결함을 감지하는 정확하고, 안정적이며, 비용 효율적인 방법을 제공합니다. 연구개발 (R&D) 센터에서 생산라인에 이르기까지, 이 시스템은 다양한 문제를 해결하고, 마스크와 웨이퍼의 상태에 대한 귀중한 통찰력을 제공합니다.
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