판매용 중고 DEXON CLL 6436 #108363

DEXON CLL 6436은 반도체 산업을 위해 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 고해상도 이미징 (high-resolution imaging) 및 유연한 워크플로우 (workflow) 기능을 제공하여 다양한 웨이퍼 및 마스크 기판의 결함을 빠르고 정확하게 감지할 수 있습니다. 이 시스템에는 강력한 64 채널 CLL (Linear Laser) 조명 소스가 장착되어 있으며, 레이저 출력 강도의 동적 변조와 이미징 및 레이저 검사 모드 간의 빠른 전환 기능을 제공합니다. 이는 가장 까다로운 프로세스 제어 요구 사항을 충족하기 위해 최고 품질의 이미징 (Image Quality Imaging) 및 레이저 유발 결함 탐지를 위한 최적의 샘플 조명을 보장합니다. CLL 6436에는 고감도 고정 초점 과학 등급 CCD (Charge Coupled Device) 이미징 장치도 장착되어 있습니다. 2/3 인치 컬러 프로그레시브 CCD 어레이를 통해 최대 1um 픽셀 크기의 고해상도를 제공합니다. 이 카메라는 이미지 품질 정보를 모두 캡처하고 빠른 웨이퍼 (wafer) 분석 작업에 필요한 데이터를 신속하게 얻을 수 있습니다. 이 기계는 모든 표면 토폴로지를 총 검사하고, 결함, 공백, 입자 및 기타 결함을 신속하게 파악하고, 진공 필터를 더욱 단순화 할 수 있도록 설계되었습니다. 5 축 전동 XY 스테이지 도구를 사용하면 효과적인 셔터 시간 (shutter time) 및 마스크 정렬을 위해 마스크를 빠르고 정확하게 스캔 할 수 있습니다. 강력한 소프트웨어를 통해 다양한 레시피 구축 기능과 데이터 내보내기 기능을 사용할 수 있습니다. 색상 픽셀 임계값 및 이미지 필터링을 포함하는 고유 DEXON Analytical Toolkit (DEXON Analytical Toolkit) 은 이미지에 대한 관심 있는 기능을 유지하면서 불필요한 세부 사항, 배경, 노이즈를 모두 제거하는 자동화된 이미지 분석을 제공합니다. 전반적으로 DEXON CLL 6436은 가장 어려운 검사 작업을 위해 설계된 혁신적인 마스크 및 웨이퍼 검사 자산입니다. 고해상도 이미징 기능과 지능형 소프트웨어 (Intelligent Software) 는 다양한 마스크 및 웨이퍼 기판의 결함을 탐지, 해석하는 데 이상적인 모델입니다.