판매용 중고 DCG SYSTEMS / CREDENCE EmiScope I #9118942
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ID: 9118942
빈티지: 2004
Time-resolved photon emission system,
Type 2 detector
120V, 50/60Hz
CE tagged
(1) N Control cabinet
EmiScope-I controller
Illuminator module Ortel 9308 picosecond time analyzer
Wiener UEP15 module
K-O Concepts recirculating chiller
TRE fixture lid p/n C76319-001rev01
2004 vintage.
DCG SYSTEMS/CREDENCE EmiScope I은 최신 이미징 기술 및 재료 엔지니어링 프로세스를 활용하여 반도체 마스크 및 웨이퍼 기판을 검사 및 검사하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 로 인해, 생산, 포장, 운송 의 결과 로 생기는 표면 결함 과 불규칙성 을 모두 탐지 할 수 있다. CREDENCE EmiScope I 시스템에는 최대 3 개의 별도 각도에서 마스크 및 웨이퍼 표면의 이미지를 캡처하는 초고해상도 디지털 카메라가 장착되어 있어 프로파일, 미세한 수준의 디테일 (detail) 및 결함 감지를 상세하게 분석할 수 있습니다. 이 장치의 소프트웨어는 자동 결함 인식 (automated defect recognition) 및 수리를 제공하며, 신속한 이미지 처리, 인식 및 결함 수리에 효과적입니다. 자동화된 focus-in-focus 조정 기능과 자동화된 결함 감지 기능도 포함되어 있어 표준 현미경 목표, xyz 단계, 이미지 정렬을 위한 자동 정렬 시스템 (automated alignment system) 을 사용할 수 있습니다. DCG SYSTEMS EmiScope I 머신은 여러 형식으로 캡처 된 데이터를 제공합니다. 스테레오 영화; 다중극/다중 평면 이미지; 극성 전력 이미지; 그리고 주어진 영역 내에서 생산 오류를 감지 할 수있는 결함 찾기 (Flect Finder). EmiScope I은 Windows XP Professional을 통해 구동됩니다. 이를 통해 '결함 분석 도구 상자 (Defect Analysis Toolbox)' 와 같은 프로그램을 실행할 수 있는 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 검사 도구로 식별되는 모든 서피스 또는 웨이퍼 결함을 진단, 분석 및 해석할 수 있습니다. 소프트웨어 기반 비디오 카메라를 사용하면 기판 이동 및 결함을 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. DCG SYSTEMS/CREDENCE EmiScope I Inspection Asset은 연구 개발, 실험실, 생산 설정 및 교육 시설과 같은 다양한 설정에 사용하기에 적합합니다. 컴팩트한 모듈식 (compact, modular) 설계를 통해 쉽게 전송할 수 있으며 모든 어플리케이션에 맞게 구성할 수 있습니다. 또한 인체 공학적 (ergonomic) 디자인으로 제작되어 사용하기 쉽고 설치가 용이합니다. CREDENCE EmiScope I Mask and Wafer Inspection Model은 기판의 결함 감지 및 수리를 위한 강력하고, 사용자 친화적이며, 비용 효율적인 도구입니다. 이 장비는 마스크 (mask) 및 웨이퍼 (wafer) 표면의 고해상도 이미지를 캡처할 수 있으며, 생성된 결함을 정확하게 진단, 분석, 해석할 수 있는 강력한 소프트웨어를 갖추고 있습니다. 이 시스템의 인체 공학적 설계는 Windows 및 Macintosh 컴퓨터 시스템과의 호환성과 함께 실험실, 연구 개발, 교육 시설에 이상적입니다.
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