판매용 중고 CYBEROPTICS Cobra #173485

CYBEROPTICS Cobra는 반도체 제조 용도로 설계된 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 자세한 도량형, 이미징 및 필름 측정을 위해 높은 처리량과 정밀도를 조합하여 제공합니다. 최신 기술을 사용하는 코브라 (Cobra) 는 선택적 영역 조명과 레이저 구동 이미징을 통해 높은 해상도의 이미징, 필름 두께 측정, 다이-투-다이 오버레이 (die-to-die overlay) 측정과 높은 정확도와 신뢰성을 제공합니다. 이미징 응용 프로그램의 경우 CYBEROPTICS Cobra에는 표준 26 배 광학 확대가있는 2048 × 2048 픽셀 이미징 어레이가 장착되어 있습니다. 이 시스템에는 동력 모션 스테이지가 포함되어 있으며, 이미징 장치가 x축, y축 및 웨이퍼 주위에서 움직일 수 있습니다. 또한 Cobra는 레이저 구동 이미징, 다크 필드 및 브라이트 필드 토폴로지 이미지 캡처와 같은 다양한 조명 기술을 지원합니다. 도량형 응용 프로그램의 경우 CYBEROPTICS Cobra에는 고해상도 변위 센서와 다양한 자체 교정 측정 소프트웨어가 장착되어 오버레이, 선 너비, 라인 에지 거칠기, 임계 치수 변형을 정확하게 측정합니다. 또한이 기계는 색소 측정을 위해 밴드 패스 및 다중 채널 광학 필터와 추가 표면 분석 기능에 대한 고급 SPR (Surface Plasmon Resonance) 분석을 지원합니다. 필름 측정 응용 프로그램의 경우, Cobra에는 필름 두께 측정을위한 광학 반사계 (optical reflectometer) 가 장착되어 있습니다. 공구는 자산에 통합된 분광기를 사용하여 웨이퍼 서피스 (wafer surface) 로부터의 반사 (reflection) 를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이를 통해 필름 유형, 필름 두께, 레이어 커버리지, 자동 필름 측정, 평탄도/거친 특성 등의 처리량을 높일 수 있습니다. 전체적으로 CYBEROPTICS Cobra는 마스크 및 웨이퍼 검사 및 특성화를위한 포괄적이고 통합 된 모델을 제공합니다. 고해상도 이미징 (high resolution imaging), 정밀 도량형 (precision metrology) 기능 및 정확한 필름 측정으로, 이 장비는 모든 반도체 제조 공정에 귀중한 추가 기능입니다. 또한, 고급 소프트웨어 및 동력 모션 스테이지는 높은 처리량과 효율적인 웨이퍼 검사를 가능하게하여 코브라 (Cobra) 는 반도체 제조업체에 적합한 선택입니다.