판매용 중고 CORNING / TROPEL Flatmaster #9227960

CORNING/TROPEL Flatmaster는 반도체 제작 과정에서 마스크와 웨이퍼에 대한 고속 비접촉 광 검사를 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 시스템의 고급 옵틱 (optic) 및 이미징 기술을 통해 1 미크론 (micron) 피쳐 크기에서도 웨이퍼 기능을 감지할 수 있으므로 정확도가 높고, 안정적이며, 반복 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장치에는 고속 스캔 기능이 있으며, 신속한 결함 탐지가 가능합니다. TROPEL Flatmaster는 다양한 고급 기능과 기술을 결합하여 빠르고 정확하게 검사합니다. 기계의 중심에는 마이크로 렌즈, DPR (Dynamic Pattern Recognition) 및 통합 칩 ID 기술이 포함 된 4 채널 검사 헤드가 있습니다. 이 4 채널 접근 방식을 통해 칩당 50-150 개의 결함을 다중 레벨 검사 및 동시에 측정 할 수 있습니다. 또한 컴퓨터 제어 확대/축소 및 자동 초점 기능을 사용하여 정확도를 극대화할 수 있습니다. 최첨단 딥 인 (dip-in) 광 헤드를 통해 자산은 기존 기계 기술조차도 액세스가 어려운 웨이퍼의 어려운 영역을 검사할 수 있습니다. 이 모델에는 자동 기후 조절을위한 통합 환경 실도 있습니다. 안정 환경 (stable environment) 은 이미지의 노이즈 신호를 최소화하며, 필요에 따라 레이저 및 기계적 교정으로 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 이 장비는 개방형 아키텍처 (open architecture) 로 설계되어 여러 공급업체의 자동 웨이퍼 처리 (automated wafer handling) 시스템을 통합할 수 있습니다. CORNING Flatmaster 는 신속한 턴어라운드 (turnaround) 요구 사항을 충족하면서 높은 해상도와 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 시스템은 100 ~ 1700mm 웨이퍼를 스캔하고 25mm까지 마스크에 침투하여 결함을 감지 할 수 있습니다. 이 장치는 사용하기 쉽고, 자동 결함 분류기, CAD 통합 스캐너 (CAD integrated scanner) 또는 추가 분석에 대한 입력으로 출력을 사용할 수 있습니다. 플랫 마스터 (Flatmaster) 는 반도체 제작 산업을위한 신뢰할 수 있고 정확한 마스크 및 웨이퍼 검사 기계입니다.