판매용 중고 CORNING FlatMaster 200 #9148493
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판매
ID: 9148493
빈티지: 2011
Wafer measurement system
Process: Lapping
Measurement method: Grazing-incidence interferometer
Accuracy: 0.05 μm (2.0 μ”)
Repeatability: 0.015 μm
Resolution: 0.01 μm (0.4 μ”)
Dynamic range: 30 μm typical
Measured data points: Up to 250,000
Measured time: 5 seconds
Standard measurements: Flatness,line profile,spherical radius (2~6”)
2011 vintage.
CORNING FlatMaster 200은 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 접촉 및 비접촉 검사 어플리케이션에 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 제품은 디지털 카메라, 양면 스테이지, 광학 렌즈 (optical lense), 정교한 소프트웨어인 매우 정교한 광학 이미징 시스템입니다. 카메라는 FlatMaster 200의 핵심이며 15 비트 색 깊이에서 최대 2100x1700 픽셀 해상도를 제공 할 수 있습니다. 스테이지는 마스크 또는 웨이퍼 (wafer) 를 분 단계에서 검사할 수 있는 양면, 고밀도 압축 장치입니다. 이렇게 하면 재현 가능한 결과에 맞춰 정밀하게 정렬할 수 있습니다. 고정밀도 옵틱은 왜곡이나 수차가 매우 낮으며, 자동 (automated) 단계 이동 중에도 전체 이미징 분야에서 일정한 화질을 제공합니다. CORNING FlatMaster 200 소프트웨어는 세 개의 기본 모듈로 구성됩니다. 첫 번째는 마스크를 빠르게 스캔하고 결함을 감지하는 마스크 검사 장치 (예: 누락, 엑스트라, 시프트 패턴) 입니다. 또한 미러 이미지, 중복 픽셀, 추적 및 공백을 사용자 정의 최소 너비보다 작게 식별합니다. 두 번째 모듈은 보이드 (void) 및 웨이퍼 (wafer) 표면에서 기타 불규칙성을 찾는 웨이퍼 검사 기계입니다. 마지막으로, 세 번째 모듈은 자산의 성능을 세밀하게 조정하거나 사용자 정의 (user-defined) 마스크 템플릿을 생성할 수 있는 보정 및 검사 최적화 툴입니다. FlatMaster 200 은 결함을 신속하게 파악하고 지속적으로 우수한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 자동 시각 알고리즘 (Automated Vision Algorithm) 을 사용하여 분 (Minute) 표시를 감지하고 크기와 모양에 따라 결함을 분류할 수 있습니다. 이 모델은 또한 고속 운영 (최대 8 배 확대) 이 가능하며, 데이터 보존을 위해 최대 1 GB 의 내부 스토리지 모듈을 갖추고 있습니다. 결론적으로 CORNING FlatMaster 200은 결함을 눈부신 마스크 및 웨이퍼를 검사하기위한 이상적인 도구입니다. 광학적으로 발전된 이미징 장비로, 미세한 결함을 신속하게 인식하고, 검사 기간 내내 화질을 일정하게 제공합니다. 내장형 소프트웨어는 시스템 성능을 손쉽게 조정하고 최적화할 수 있게 해 주는 반면, 고속 (high-speed) 작동과 효율적인 내부 스토리지 용량은 운영 라인 (production line) 환경에 적합합니다.
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