판매용 중고 COMPUMETRICS AMS 100 #38026
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ID: 38026
Critical dimension mask inspection system
Leitz Ergolux microscope
Camera and camera control
De-installed.
COMPUMETRICS AMS 100은 반도체 산업을 위해 설계된 웨이퍼 및 마스크 검사 장비입니다. 이 자동 시스템 (Automated System) 은 이러한 구성 요소에 대한 높은 정밀도 감지 및 검사 기능을 제공하며, 사용자가 높은 정확도로 결함이나 결함을 감지할 수 있는 기능을 제공합니다. 이 장치는 고급 광학 이미징 (Optical Imaging) 기술을 사용하여 마스크와 웨이퍼 (Wafer) 의 내부 구조와 세부 사항을 정확하게 설명하고 모니터링합니다. 광원 (light) 은 고해상도 측정을 제공하는 구조를 평가하기 위해 서피스에서 반사됩니다. 그런 다음, 이 빛 을 "컴퓨터 '로 옮겨 그 곳 에서" 데이터' 를 분석 하고 더 처리 한다. 기계 는 빠르고 효율적 이며, 시간 당 최대 750 개 의 "웨이퍼 '와" 마스크' 의 속도 로 결과 를 낼 수 있다. 그러면 결과 분석이 통계적 그래픽 표현과 함께 사용자 화면에 표시됩니다. 이 데이터는 업계 표준 및 사용자 정의 사양과 쉽게 비교할 수 있습니다. 다른 유사한 솔루션과 비교할 때, AMS 100 검사 도구는 시간을 절약하면서 탁월한 수준의 정확도를 제공 할 수 있습니다. 또한 이 에셋은 유연하며, 사용자가 특정 애플리케이션에 맞게 설정을 손쉽게 조정하거나, 다른 시나리오에서 다른 성능을 평가할 수 있는 기능을 제공합니다 (영문). 이 모델은 웨이퍼 (wafer) 및 마스크 검사 외에도 전기 매개변수, 에치 저항 (etch resistance), 광학 특성, 화학 반응 속도와 같은 추가 재료 특성을 측정 할 수 있습니다. 이 장비는 내구성이 뛰어나며, 고온, 방사선 노출 (radiation exposure) 등 여러 환경 조건에서 효율적으로 작동할 수 있습니다. 전반적으로 COMPUMETRICS AMS 100은 강력하고 효율적인 도구로, 마스크 및 웨이퍼 검사 모두에서 매우 정확한 데이터를 제공합니다. 이 시스템은 검사와 측정 능력을 향상시키려는 반도체 (semiconductor) 또는 산업용 사용자에게 이상적인 솔루션입니다.
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