판매용 중고 CMS UTR 65 #9250624

CMS UTR 65는 로봇 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고해상도 현장 이미징 및 마스크 및 웨이퍼 기판 검사를 제공합니다. 이것은 독점적 인 주사 전자 현미경 (SEM) 플랫폼을 사용하여 달성됩니다. 이 시스템은 초점과 기울기 (tilt) 를 정확하게 세밀하게 조정할 수 있는 9축 (9-axis) 포지셔닝 메커니즘을 갖추고 있으며, 광범위한 마스크와 웨이퍼를 스캔할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 고해상도 (High-resolution) 카메라가 장착되어 있어 다양한 조명을 분석하고 검사할 수 있으며, 견본에 대한 중단 없는 뷰를 제공합니다. UTR 65는 고성능 자동 빔 스캐닝 머신 (beam scanning machine) 을 통합하여 마스크 기판의 기능을 정확하게 포지셔닝합니다. 자동 빔 스캐닝 (beam scanning) 및 측정 (measurement) 기능을 활용하면 마스크의 피쳐를 신속하게 분석, 검사하여 정확성을 보장할 수 있습니다. 내장형 카메라를 사용하면 마스크 (Mask) 를 다음 프로세스로 옮기기 전에 오류 (Error) 를 식별할 수 있는 기능을 통해 예상 기능과 실제 피쳐를 쉽게 비교할 수 있습니다. 검사 결과의 정확성과 신뢰성을 극대화하기 위해 CMS UTR 65는 레이저 보조 자동 초점 기능을 통합합니다. 기술적으로 향상된 이 기능은 자동 포커싱 (focusing) 기능을 제공하여 각 마스크를 스캔할 때 최적의 포커스를 신속하게 달성할 수 있습니다. 레이저 보조 포커스 (laser-assisted focus) 는 또한 측정되는 실제 피쳐가 정확하게 초점을 맞추고 가장 안정적이고 반복 가능한 결과를 제시하도록 보장합니다. UTR 65는 쉽게 작동하고 사용할 수 있도록 설계되었습니다. 에셋은 사용자 정의 가능한 디스플레이를 제공하는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 제공할 뿐만 아니라, 자동화된 처리를 위한 작업 큐 (Job Queue) 도 내장되어 있습니다. 이 최적화된 워크플로를 사용하면 단일 작업 큐에서 여러 유형의 마스크를 신속하게 분석, 검사할 수 있습니다. 이 모델은 작업 큐를 통해 구성 (fabrication), 배치 (placement), 부품 번호 (part number) 등 모든 마스크 정보를 저장하여 간편하게 리콜할 수 있습니다. 요약하면, CMS UTR 65는 자동 마스크 및 웨이퍼 검사 장비로, 고해상도 이미징 및 신뢰성 있는 검사 결과를 제공할 수 있습니다. 이 시스템은 마스크 및 웨이퍼 워크플로우 (wafer workflow) 를 간소화하는 한편, 사용자가 사용하기 쉬운 그래픽 사용자 인터페이스 (graphical user interface) 와 자동 작업 처리 (automated job processing) 기능을 제공하도록 설계되었습니다. 통합 레이저 보조 포커스를 통해, UTR 65는 매번 최적의 포커스와 정밀도를 보장하여 정확하고 반복 가능한 검사 결과를 얻을 수 있습니다.