판매용 중고 CARLO ERBA 1500 #86211

CARLO ERBA 1500
ID: 86211
Nitrogen analyzer.
CARLO ERBA 1500은 마스크 및 웨이퍼 결함을 감지하기 위해 특별히 설계된 고급 검사 장비입니다. 이 시스템은 고급 이미징, 자동 입력 (automated input) 및 수동 검증 프로세스를 결합하여 감지된 모든 결함이 정확하게 식별되고 보고되도록 합니다. 1500 년에 사용 된 이미징 기술로 마스크 (mask) 와 웨이퍼 (wafer) 표면에서 미세한 결함을 감지할 수 있습니다. 이 제품은 서브 미크론 해상도를 갖춘 특수 광학 현미경을 사용하여 다이 (die) 표면의 결함을 확대하고 이미지로 표시하여 쉽게 식별하고 측정할 수 있습니다. 고해상도 CCD (charge-coupled device) 카메라는 이미지를 캡처하고 측정값을 기록하는 데 사용됩니다. 이 장치에는 자동화된 장애 감지 알고리즘이 함께 제공되어 이 프로세스를 지원합니다. 이 알고리즘은 검사 프로그램에 지정된 결함 (들) 의 크기와 모양을 정확하게 결정하도록 프로그래밍됩니다. 또한 결함이 가변 프로세스 관련 결함 (variable process related defect) 또는 마스크/웨이퍼 (mask/wafer) 문제의 결과인지 확인할 수 있습니다. 또한 CARLO ERBA 1500 은 수동 입력 프로세스를 제공하여 사용자가 감지된 결함을 수동으로 검토할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 감지된 결함의 크기, 모양, 위치, 특성을 확인하고, 수정하거나, 추가 정보를 제공할 수 있습니다. 마지막으로, 1500 에는 강력한 보고 기능이 포함되어 있는데, 이 기능을 통해 사용자는 탐지된 결함 측정 (detected defect measurements) 과 각각의 특성을 포함하는 포괄적인 보고서를 생성할 수 있습니다. 이 기능은 제조업체가 마스크/웨이퍼의 승인/거부 기준에 대해 정보를 제공하도록 돕기 위한 것입니다. 전반적으로 CARLO ERBA 1500은 마스크와 웨이퍼에 대한 자세한 검사를 위해 특별히 설계된 고급 검사 기계입니다. 이 도구는 고급 광학 현미경, 자동 이미지 입력, 자동 결함 감지 알고리즘, 수동 입력 (manual input) 을 결합하여 감지된 모든 결함이 정확하게 식별되고 보고됩니다. 뛰어난 이미징, 장애 감지 및 보고 기능을 제공함으로써, 1500 개는 현재 사용 가능한 최고의 마스크 및 웨이퍼 검사 시스템 중 하나로 간주됩니다.
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