판매용 중고 CARL ZEISS MeRit HR32 Plus #9254285

CARL ZEISS MeRit HR32 Plus는 혁신적인 기술을 사용하여 선명한 결함 특성을 제공하는 마스크 및 웨이퍼 검사 장비입니다. 이 시스템은 마스크 (Mask) 와 웨이퍼 (Wafer) 에 대한 작은 기능을 추적하여 결함을 감지합니다. MeRit HR32 Plus는 다른 구조화 된 광원 패턴을 투영하는 여러 개의 개별 광원을 활용합니다. 이 장치는 소형으로 설계되었으며, 최소한의 공간을 차지하지만, 여전히 강력하고 안정적인 성능을 제공합니다. 빛이 마스크/웨이퍼에 부딪히면 각 광원은 두 개의 수직, 선형 커브를 생성합니다. 빛이 통과한 후에도 여전히 보이는 모든 결함은 광원 이미지 (Light Source Image) 에 의해 조명되어 실시간으로 분석됩니다. 결과의 정확성을 보장하기 위해 검사 프로세스는 자동 초점 깊이 제어 (Autofocus Depth Control) 와 3D 도량형 기계를 사용합니다. 이러한 기능을 결합하여 사용자가 자동으로 포커스를 제어하고 마스크/웨이퍼의 3D 서피스 프로파일을 측정할 수 있습니다. 따라서 이미징 광학을 수동으로 조정할 필요가 없습니다. 이 툴과 함께 제공되는 소프트웨어는 사용이 간편하며, 검사 프로세스를 간소화하는 데 도움이 되는 여러 가지 기능을 제공합니다. 여기에는 통합 보고서 생성기, 포괄적인 결함 데이터베이스 및 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 가 포함됩니다. 이러한 기능을 통해 사용자는 신속하게 모든 결함을 진단하고 검사 중에 수집한 모든 데이터를 액세스할 수 있습니다 (영문). CARL ZEISS MeRit HR32 Plus는 photolithography 분야의 도량형 응용 분야에 이상적입니다. 고해상도 검사, 3D 결함 이미징, 고정밀 마스크 정렬 및 측정을 위한 완벽한 선택입니다. 이 자산은 맨눈으로 볼 수없는 비정규성 (non-uniformity) 과 결함을 신속하게 감지할 수 있습니다. 놀라운 정확성과 안정적인 성능을 갖춘 MeRit HR32 Plus는 모든 도량형 어플리케이션에 이상적인 동반자입니다.